| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-27页 |
| 1.1 课题来源与研究背景 | 第8-12页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 产品的微型化需求 | 第8-9页 |
| 1.1.3 微细加工技术及其局限性 | 第9-10页 |
| 1.1.4 一体化微细制造技术 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-23页 |
| 1.2.1 微细加工工艺的研究现状及发展趋势 | 第13-18页 |
| 1.2.2 一体化微细制造技术的研究现状及发展趋势 | 第18-23页 |
| 1.3 本文的研究思路 | 第23-24页 |
| 1.4 论文研究内容与章节安排 | 第24-27页 |
| 第二章 基于电加工的一体化微细制造技术 | 第27-50页 |
| 2.1 基于电加工的一体化微细制造技术基本原理 | 第27-31页 |
| 2.2 研究技术路线 | 第31-33页 |
| 2.3 关键技术 | 第33-48页 |
| 2.3.1 基于倒置加工方式的工艺切换 | 第33页 |
| 2.3.2 牺牲材料的选择性去除 | 第33-35页 |
| 2.3.3 基于块电极电火花磨削的表面平坦化 | 第35-38页 |
| 2.3.4 基于微细电火花铣削的表面图形化 | 第38-48页 |
| 2.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第三章 实验平台设计及搭建 | 第50-59页 |
| 3.1 验证性样件的设计 | 第50-52页 |
| 3.2 工艺需求及实验平台要求 | 第52-53页 |
| 3.3 基于微细组合电加工机床的实验平台设计与搭建 | 第53-58页 |
| 3.3.1 基于微能脉冲电源的微细组合电加工机床 | 第53-55页 |
| 3.3.2 实验平台设计 | 第55-57页 |
| 3.3.3 实验平台搭建 | 第57-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 加工工艺实验验证 | 第59-76页 |
| 4.1 基础工艺的实验验证 | 第59-69页 |
| 4.1.1 牺牲材料的选择性去除实验验证 | 第59-61页 |
| 4.1.2 基于块电极电火花磨削的表面平坦化实验验证 | 第61-63页 |
| 4.1.3 基于倒置微细电火花铣削的表面图形化实验验证 | 第63-67页 |
| 4.1.4 表面流体高速剪切作用下的微细电铸实验 | 第67-69页 |
| 4.2 工艺切换的实验验证 | 第69-72页 |
| 4.2.1 微细电铸与块电极电火花磨削工艺切换实验验证 | 第70页 |
| 4.2.2 微细电火花铣削与微细电铸工艺切换实验验证 | 第70-72页 |
| 4.3 微悬桥样件制造实验 | 第72-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 总结与展望 | 第76-79页 |
| 5.1 本文的工作总结 | 第76-77页 |
| 5.2 本文的创新点 | 第77页 |
| 5.3 研究展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 附录A 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利 | 第83页 |
| 附录B 攻读硕士学位期间参加的学术活动 | 第83页 |
