Cu，Zr，N掺杂类金刚石薄膜的制备及性能研究
| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 类金刚石薄膜的成分、结构和分类 | 第10-11页 |
| 1.2 类金刚石薄膜的制备方法 | 第11-15页 |
| 1.2.1 液相法 | 第12页 |
| 1.2.2 化学气相沉积 | 第12-14页 |
| 1.2.3 物理气相沉积 | 第14-15页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的性能和应用 | 第15-16页 |
| 1.3.1 力学性能和应用 | 第15-16页 |
| 1.3.2 电学性能和应用 | 第16页 |
| 1.3.3 医学性能和应用 | 第16页 |
| 1.4 选题依据 | 第16-17页 |
| 1.5 研究内容 | 第17-18页 |
| 2 薄膜的制备、表征和测试 | 第18-29页 |
| 2.1 薄膜的生长过程 | 第18-19页 |
| 2.2 溅射原理 | 第19-21页 |
| 2.3 磁控溅射设备 | 第21-23页 |
| 2.4 薄膜的成分、结构和表面粗糙度 | 第23-25页 |
| 2.4.1 拉曼光谱仪（Raman） | 第23-24页 |
| 2.4.2 扫描电子显微镜 | 第24页 |
| 2.4.3 表面轮廓仪 | 第24-25页 |
| 2.5 薄膜的力学性能性能测试 | 第25-26页 |
| 2.5.1 膜/基结合力 | 第25-26页 |
| 2.5.2 薄膜的维氏硬度 | 第26页 |
| 2.5.3 薄膜纳米硬度和弹性模量 | 第26页 |
| 2.6 薄膜的摩擦学性能 | 第26-27页 |
| 2.7 薄膜的耐腐蚀性能测试 | 第27-28页 |
| 2.8 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 Cu掺杂类金刚石薄膜的制备、结构和性能 | 第29-39页 |
| 3.1 薄膜的制备工艺 | 第29-30页 |
| 3.2 薄膜的成分、结构和粗糙度 | 第30-33页 |
| 3.2.1 成分和形貌分析 | 第30-31页 |
| 3.2.2 薄膜厚度与沉积速率 | 第31-32页 |
| 3.2.3 拉曼光谱分析 | 第32-33页 |
| 3.2.4 表面粗糙度 | 第33页 |
| 3.3 薄膜的力学性能 | 第33-36页 |
| 3.3.1 膜/基结合力 | 第33-35页 |
| 3.3.2 纳米硬度和弹性模量 | 第35-36页 |
| 3.4 薄膜的摩擦学性能 | 第36-38页 |
| 3.5 薄膜的耐腐蚀性能测试 | 第38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 Zr掺杂类金刚石薄膜的制备、结构和性能 | 第39-49页 |
| 4.1 薄膜的制备工艺 | 第39页 |
| 4.2 薄膜的成分、结构和粗糙度 | 第39-43页 |
| 4.2.1 成分和形貌分析 | 第39-40页 |
| 4.2.2 薄膜厚度与沉积速率 | 第40-41页 |
| 4.2.3 拉曼光谱分析 | 第41-42页 |
| 4.2.4 表面粗糙度 | 第42-43页 |
| 4.3 薄膜的力学性能 | 第43-45页 |
| 4.3.1 膜/基结合力 | 第43-45页 |
| 4.3.2 纳米硬度和弹性模量 | 第45页 |
| 4.4 薄膜的摩擦学性能 | 第45-47页 |
| 4.5 薄膜的耐腐蚀性能测试 | 第47-48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 N掺杂类金刚石薄膜的制备、结构和性能 | 第49-58页 |
| 5.1 薄膜的制备工艺 | 第49-50页 |
| 5.2 薄膜的成分、结构和粗糙度 | 第50-52页 |
| 5.2.1 成分和形貌分析 | 第50-51页 |
| 5.2.2 薄膜厚度和沉积速率 | 第51页 |
| 5.2.3 拉曼光谱分析 | 第51-52页 |
| 5.3 薄膜的力学性能 | 第52-54页 |
| 5.3.1 膜/基结合力 | 第52-54页 |
| 5.3.2 维氏硬度 | 第54页 |
| 5.4 薄膜的摩擦学性能 | 第54-56页 |
| 5.5 薄膜的耐腐蚀性能测试 | 第56页 |
| 5.6 本章小结 | 第56-58页 |
| 6 总结和展望 | 第58-60页 |
| 6.1 本文主要研究工作及总结 | 第58-59页 |
| 6.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 附录 | 第67页 |
| A硕士期间发表的论文 | 第67页 |
| B硕士期间所获奖项 | 第67页 |
