| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第14-15页 |
| 1.2 FBAR概述 | 第15-19页 |
| 1.2.1 FBAR工作原理和特点 | 第15-17页 |
| 1.2.2 FBAR主流结构 | 第17-19页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第19-25页 |
| 1.3.1 纵波模式FBAR的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3.2 剪切波模式FBAR的研究现状 | 第20-25页 |
| 1.4 论文的研究内容和章节安排 | 第25-28页 |
| 第二章 新型电极嵌入式结构侧向场激励FBAR的建模 | 第28-44页 |
| 2.1 固体中的平面声波方程 | 第28-32页 |
| 2.1.1 声学基本方程 | 第28-31页 |
| 2.1.2 声波传输特性 | 第31-32页 |
| 2.2 压电体中的声场与波 | 第32-36页 |
| 2.2.1 压电现象 | 第32-33页 |
| 2.2.2 压电方程 | 第33-36页 |
| 2.3 纵波模式FBAR的理论模型 | 第36-40页 |
| 2.4 电极嵌入式结构侧向场激励FBAR的理论模型 | 第40-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 新型FBAR的有限元仿真 | 第44-68页 |
| 3.1 材料选取 | 第44-46页 |
| 3.2 COMSOL有限元仿真步骤 | 第46-48页 |
| 3.3 柔性SAW器件有限元仿真 | 第48-55页 |
| 3.4 新型结构FBAR器件有限元仿真 | 第55-58页 |
| 3.5 新型电极嵌入式结构侧向场激励FBAR有限元仿真 | 第58-66页 |
| 3.5.1 电极间距影响 | 第59-60页 |
| 3.5.2 电极宽度影响 | 第60-62页 |
| 3.5.3 多对电极影响 | 第62页 |
| 3.5.4 电极嵌入深度影响 | 第62-66页 |
| 3.6 本章小结 | 第66-68页 |
| 第四章 新型电极嵌入式结构侧向场激励FBAR的制备和测试 | 第68-86页 |
| 4.1 实验室制备FBAR设备及工艺 | 第68-76页 |
| 4.1.1 磁控溅射系统 | 第68-73页 |
| 4.1.2 紫外光刻机 | 第73-75页 |
| 4.1.3 DRIE刻蚀设备 | 第75-76页 |
| 4.2 侧向场激励FBAR的制备和测试 | 第76-82页 |
| 4.2.1 侧向场激励FBAR掩模板设计 | 第77-78页 |
| 4.2.2 侧向场激励FBAR的制备 | 第78-79页 |
| 4.2.3 侧向场激励FBAR器件性能测试 | 第79-82页 |
| 4.3 电极嵌入式结构侧向场激励FBAR的制备和测试 | 第82-85页 |
| 4.3.1 电极嵌入式结构侧向场激励FBAR的制备 | 第82-83页 |
| 4.3.2 电极嵌入式结构侧向场激励FBAR的性能测试 | 第83-85页 |
| 4.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 总结与展望 | 第86-88页 |
| 5.1 论文的主要研究内容 | 第86-87页 |
| 5.2 论文的不足之处及展望 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-98页 |
| 个人简历及在校期间所取得的科研成果 | 第98页 |
