| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 引言 | 第12-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-16页 |
| 1.1.1 玻璃表面结构及吸附气体方式 | 第12-14页 |
| 1.1.2 玻璃表面处理 | 第14-15页 |
| 1.1.3 表面能 | 第15-16页 |
| 1.2 等离子体及辉光放电等离子体清洗 | 第16-20页 |
| 1.2.1 等离子体与辉光放电 | 第16-19页 |
| 1.2.2 等离子体清洗 | 第19-20页 |
| 1.3 本课题的研究目的与意义 | 第20-22页 |
| 第2章 辉光放电过程中等离子体的数值模拟 | 第22-42页 |
| 2.1 等离子体数值模拟概述 | 第22-23页 |
| 2.2 模拟软件的选择 | 第23-24页 |
| 2.3 基于COMSOL MULTIPHYSICS的等离子体数值模型及理论基础 | 第24-31页 |
| 2.3.1 漂移扩散理论 | 第24-28页 |
| 2.3.2 重粒子传输模型 | 第28-31页 |
| 2.4 数值模拟模型的建立 | 第31-40页 |
| 2.4.1 初始结构的创建与简化 | 第31-35页 |
| 2.4.2 利用COMSOL Multiphysics模拟的过程及相关设置 | 第35页 |
| 2.4.3 模拟模型的网格划分 | 第35-37页 |
| 2.4.4 反应参数设置 | 第37-38页 |
| 2.4.5 边界条件的设定 | 第38-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 玻璃清洗设备放电参数的设计 | 第42-60页 |
| 3.1 电极带正负电压比较 | 第42-50页 |
| 3.1.1 粒子分布研究 | 第42-45页 |
| 3.1.2 粒子能量分布的研究 | 第45-46页 |
| 3.1.3 离子流密度分布的研究 | 第46-49页 |
| 3.1.4 结论 | 第49-50页 |
| 3.2 电极带不同电压时的模拟比较 | 第50-54页 |
| 3.3 不同气压环境下的模拟比较 | 第54-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第4章 玻璃清洗设备结构参数的优化 | 第60-76页 |
| 4.1 放电电极截面形状的模拟研究 | 第60-62页 |
| 4.2 工作室内尺寸参数的优化模拟 | 第62-71页 |
| 4.2.1 试验方案的确定 | 第62-65页 |
| 4.2.2 实验方案的模拟与结果分析 | 第65-71页 |
| 4.3 单排电极与双排电极的模拟比较 | 第71-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-76页 |
| 第5章 等离子体清洗实验探究及数值模拟 | 第76-88页 |
| 5.1 等离子体清洗玻璃的实验过程 | 第76-79页 |
| 5.1.1 实验设备的选择 | 第76-77页 |
| 5.1.2 玻璃清洗的实验过程 | 第77-79页 |
| 5.2 等离子体清洗玻璃实验结果与分析 | 第79-83页 |
| 5.2.1 检测设备简介 | 第80-81页 |
| 5.2.2 实验结果与分析 | 第81-83页 |
| 5.3 实验设备建模数值模拟 | 第83-85页 |
| 5.3.1 实验模型的建立 | 第83-84页 |
| 5.3.2 实验结果与模拟结果对比分析 | 第84-85页 |
| 5.4 本章小结 | 第85-88页 |
| 第6章 结论与展望 | 第88-92页 |
| 6.1 主要结论 | 第88-90页 |
| 6.2 前景展望 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-96页 |
| 致谢 | 第96-98页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第98页 |