| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 DLC薄膜的研究进展及应用 | 第10-12页 |
| 1.2.1 DLC薄膜的研究进展 | 第11页 |
| 1.2.2 DLC薄膜的应用 | 第11-12页 |
| 1.3 DLC薄膜的微观结构及生长机制 | 第12-15页 |
| 1.3.1 碳原子杂化轨道原理 | 第12-13页 |
| 1.3.2 DLC薄膜的微观结构及模型 | 第13-15页 |
| 1.3.3 DLC薄膜的生长机理 | 第15页 |
| 1.4 DLC薄膜的性能 | 第15-21页 |
| 1.4.1 DLC薄膜的力学性能 | 第15-16页 |
| 1.4.2 DLC薄膜摩擦学性能 | 第16-20页 |
| 1.4.3 DLC薄膜腐蚀性能 | 第20-21页 |
| 1.5 DLC薄膜的制备方法 | 第21-24页 |
| 1.5.1 化学气相沉积 | 第21-22页 |
| 1.5.2 物理气相沉积 | 第22-23页 |
| 1.5.3 闭合场非平衡磁控溅射技术 | 第23-24页 |
| 1.6 DLC薄膜的存在的问题及解决方法 | 第24-25页 |
| 1.6.1 真空退火 | 第24页 |
| 1.6.2 添加中间层 | 第24-25页 |
| 1.7 本文主要研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 试验材料及试验方法 | 第26-35页 |
| 2.1 试验材料及设备 | 第26-28页 |
| 2.1.1 试验材料及预处理工艺 | 第26页 |
| 2.1.2 磁控溅射镀膜设备 | 第26-28页 |
| 2.2 试验工艺方案 | 第28-31页 |
| 2.2.1 Ti-DLC梯度层沉积工艺 | 第29-30页 |
| 2.2.2 Ti-DLC梯度层沉积气压变化 | 第30-31页 |
| 2.2.3 Ti-DLC梯度层沉积温度变化 | 第31页 |
| 2.3 分析表征方法 | 第31-35页 |
| 2.3.1 表面形貌分析 | 第31-32页 |
| 2.3.2 成分和结构分析 | 第32-33页 |
| 2.3.3 性能测试 | 第33-35页 |
| 第3章 Ti-DLC薄膜微观组织结构 | 第35-55页 |
| 3.1 Ti-DLC薄膜微观组织形貌 | 第36-43页 |
| 3.1.1 Ti-DLC截面形貌 | 第36-37页 |
| 3.1.2 Ti-DLC薄膜表面形貌 | 第37-39页 |
| 3.1.3 Ti-DLC薄膜表面碳团簇生长 | 第39-40页 |
| 3.1.4 Ti-DLC薄膜表面元素分布 | 第40-41页 |
| 3.1.5 Ti-DLC薄膜表面粗糙度 | 第41-43页 |
| 3.2 Ti-DLC薄膜微观组织结构 | 第43-54页 |
| 3.2.1 钛靶电流对Ti-DLC薄膜物相的影响 | 第43-44页 |
| 3.2.2 钛靶电流对Ti-DLC薄膜晶粒大小影响 | 第44-45页 |
| 3.2.3 钛靶电流对Ti-DLC薄膜微结构成键的影响 | 第45-50页 |
| 3.2.4 钛靶电流对DLC薄膜拉曼谱峰的影响 | 第50-54页 |
| 3.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 Ti-DLC薄膜的性能 | 第55-75页 |
| 4.1 Ti-DLC薄膜的力学性能 | 第55-60页 |
| 4.1.1 Ti-DLC薄膜的硬度-位移曲线 | 第55-57页 |
| 4.1.2 Ti-DLC薄膜的载荷-位移曲线 | 第57-58页 |
| 4.1.3 钛含量对硬度与弹性模量的影响 | 第58-59页 |
| 4.1.4 sp~3 C含量与硬度、弹性模量的关系 | 第59-60页 |
| 4.1.5 FWHM_G与硬度、弹性模量的关系 | 第60页 |
| 4.2 Ti-DLC薄膜的摩擦磨损性能 | 第60-72页 |
| 4.2.1 Ti-DLC薄膜磨痕表面形貌 | 第61-66页 |
| 4.2.2 Ti-DLC薄膜摩擦系数 | 第66-69页 |
| 4.2.3 Ti-DLC薄膜磨损率 | 第69-72页 |
| 4.3 Ti-DLC薄膜腐蚀性能 | 第72-74页 |
| 4.3.1 Ti-DLC薄膜电化学腐蚀 | 第72-73页 |
| 4.3.2 Ti-DLC薄膜腐蚀形貌 | 第73-74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
