| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 前言 | 第11-12页 |
| 1.2 CrNx薄膜的研究进展简介 | 第12-16页 |
| 1.2.1 CrNx薄膜作为耐磨涂层的研究进展 | 第12-13页 |
| 1.2.2 CrNx薄膜改性不锈钢双极板的研究进展 | 第13-16页 |
| 1.3 磁控溅射的基本原理及特点 | 第16-18页 |
| 1.3.1 基本原理 | 第16-17页 |
| 1.3.2 磁控溅射的分类 | 第17页 |
| 1.3.3 磁控溅射的特点 | 第17-18页 |
| 1.4 薄膜的沉积过程 | 第18-20页 |
| 1.4.1 溅射的成膜过程 | 第18-19页 |
| 1.4.2 影响薄膜生成的因素 | 第19-20页 |
| 1.5 研究目的及主要内容 | 第20-21页 |
| 第2章 实验设备部分 | 第21-33页 |
| 2.1 实验仪器设备 | 第21-26页 |
| 2.1.1 磁控溅射系统 | 第21-23页 |
| 2.1.2 摩擦磨损试验机 | 第23-25页 |
| 2.1.3 电化学工作站 | 第25-26页 |
| 2.2 Cr-N涂层制备实验过程 | 第26-27页 |
| 2.3 薄膜表征 | 第27-31页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪 | 第27-28页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第28-29页 |
| 2.3.3 接触角测量仪 | 第29-30页 |
| 2.3.4 显微维氏硬度计 | 第30-31页 |
| 2.3.5 金相显微镜 | 第31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 不同氮气流量对Cr-N涂层表面形貌和相组成的影响 | 第33-51页 |
| 3.1 第一组Cr-N涂层制备实验的涂层结构研究 | 第33-36页 |
| 3.2 第二组Cr-N涂层制备实验的涂层结构研究 | 第36-49页 |
| 3.2.1 Cr-N涂层的表面形貌分析 | 第37-41页 |
| 3.2.2 Cr-N涂层表面晶粒大小分析 | 第41-42页 |
| 3.2.3 Cr-N涂层的晶体结构分析 | 第42-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 Cr-N涂层耐磨、耐腐性能研究 | 第51-67页 |
| 4.1 Cr-N涂层耐磨性能研究 | 第51-56页 |
| 4.1.1 摩擦实验样品制备及硬度测试 | 第51-52页 |
| 4.1.2 以磨光不锈钢为基底样片的摩擦系数-时间曲线分析 | 第52-53页 |
| 4.1.3 以磨光不锈钢为基底样片的磨痕形貌分析 | 第53-54页 |
| 4.1.4 以氮化不锈钢为基底样片的摩擦系数-时间曲线分析 | 第54-55页 |
| 4.1.5 以氮化不锈钢为基底样片的磨痕形貌分析 | 第55-56页 |
| 4.2 Cr-N涂层耐腐性能研究 | 第56-65页 |
| 4.2.1 腐蚀实验样品制备及水接触角测试 | 第58-59页 |
| 4.2.2 动态电极极化行为讨论 | 第59-61页 |
| 4.2.3 静态电极极化行为讨论 | 第61-63页 |
| 4.2.4 静态电极极化腐蚀金相形貌 | 第63-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-67页 |
| 第5章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 结论 | 第67页 |
| 5.2 展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
