| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第9-12页 |
| 1 射频等离子体功率传输效率、模式转化和受迫振荡的研究背景及现状 | 第9-10页 |
| 2 本课题的提出及意义 | 第10-12页 |
| 1 射频感性耦合等离子体放电特性的研究进展 | 第12-22页 |
| 1.1 模式转化的研究进展 | 第12-18页 |
| 1.1.1 国外的研究进展 | 第12-14页 |
| 1.1.2 国内的研究进展 | 第14-18页 |
| 1.2 功率传输效率的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 受迫振荡的研究现状 | 第19-22页 |
| 2 实验系统介绍 | 第22-32页 |
| 2.1 实验装置 | 第22-25页 |
| 2.2 实验诊断装置 | 第25-32页 |
| 2.2.1 Z-Scan测量系统的介绍 | 第25-27页 |
| 2.2.2 史密斯圆图原理的介绍 | 第27-32页 |
| 3 实验结果 | 第32-52页 |
| 3.1 直流弱磁场中功率传输效率的变化 | 第32-37页 |
| 3.1.1 直流弱磁场的测量 | 第32-33页 |
| 3.1.2 功率传输效率 | 第33-34页 |
| 3.1.3 直流弱磁场对功率传输效率的影响 | 第34-35页 |
| 3.1.4 直流弱磁场中气压对功率传输效率的影响 | 第35-37页 |
| 3.2 射频感性耦合等离子体放电模式转化的实验研究 | 第37-52页 |
| 3.2.1 直流弱磁场对放电模式转化特性的影响 | 第37-48页 |
| 3.2.2 功率对受迫振荡的影响 | 第48-49页 |
| 3.2.3 直流弱磁场对受迫振荡的影响 | 第49-52页 |
| 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |