磁浮式补偿器结构设计及特性研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题的研究背景、目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 超精密定位工作台补偿技术研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 磁浮式补偿器总体设计 | 第16-30页 |
| 2.1 磁浮式补偿器的设计要素 | 第16-20页 |
| 2.1.1 宏微驱动技术 | 第16-17页 |
| 2.1.2 单自由度宏微驱动系统振动分析 | 第17-20页 |
| 2.2 磁浮式补偿器功能和指标 | 第20-22页 |
| 2.3 磁浮式补偿器总体设计 | 第22-29页 |
| 2.3.1 磁浮式补偿器具体结构 | 第22-23页 |
| 2.3.2 磁浮式补偿器基本原理与设计 | 第23-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 磁浮式补偿器理论分析 | 第30-38页 |
| 3.1 力和刚度分析计算 | 第30-35页 |
| 3.1.1 力和刚度 | 第30-35页 |
| 3.1.2 质量 | 第35页 |
| 3.2 热性能分析计算 | 第35-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 磁浮式补偿器仿真分析 | 第38-48页 |
| 4.1 边界元法基本原理及 IES 软件概述 | 第38-40页 |
| 4.1.1 数学模型简述 | 第38页 |
| 4.1.2 边界元法的基本原理 | 第38-39页 |
| 4.1.3 IES 软件概述 | 第39-40页 |
| 4.2 磁浮式补偿器力和刚度仿真 | 第40-47页 |
| 4.2.1 二维边界元模型仿真 | 第40-45页 |
| 4.2.2 三维边界元模型仿真 | 第45-47页 |
| 4.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 磁浮式补偿器性能实验 | 第48-65页 |
| 5.1 磁浮式补偿器力和刚度测试实验 | 第48-58页 |
| 5.1.1 磁浮式补偿器实体结构 | 第48-49页 |
| 5.1.2 力学测试系统 | 第49-51页 |
| 5.1.3 力和刚度测试实验 | 第51-58页 |
| 5.2 磁浮式补偿器热性能实验 | 第58-64页 |
| 5.2.1 温度测量系统 | 第58-60页 |
| 5.2.2 水冷系统 | 第60-61页 |
| 5.2.3 热性能实验 | 第61-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
