| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 符号对照表 | 第15-19页 |
| 缩略语对照表 | 第19-24页 |
| 第一章 绪论 | 第24-32页 |
| 1.1 Ga N基微波器件的优势 | 第24-26页 |
| 1.2 Al GaN/GaN HEMT研究背景 | 第26-29页 |
| 1.2.1 Ga N材料与器件研究历程 | 第26-27页 |
| 1.2.2 Al GaN/GaN HEMT研究历程 | 第27-28页 |
| 1.2.3 国内AlGaN/GaN材料与器件研究进展 | 第28-29页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第29-32页 |
| 第二章 Al GaN/GaN HEMT原理及器件工艺 | 第32-42页 |
| 2.1 Al GaN/GaN HEMT的工作原理 | 第32-35页 |
| 2.1.1 二维电子气的形成 | 第32-33页 |
| 2.1.2 极化效应 | 第33-35页 |
| 2.2 Al GaN/GaN HEMT器件工艺 | 第35-41页 |
| 2.2.1 欧姆接触 | 第36-38页 |
| 2.2.2 MESA刻蚀 | 第38页 |
| 2.2.3 表面钝化与栅槽刻蚀 | 第38-39页 |
| 2.2.4 栅极肖特基接触 | 第39页 |
| 2.2.5 二次钝化、互连开孔与互连金属蒸发 | 第39页 |
| 2.2.6 空气桥工艺 | 第39-40页 |
| 2.2.7 背孔刻蚀与背金蒸镀 | 第40-41页 |
| 2.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 Al GaN/GaN HEMT器件建模 | 第42-68页 |
| 3.1 Al GaN/GaN HEMT器件的测试表征 | 第42-49页 |
| 3.1.1 Al GaN/GaN HEMT器件的直流特性 | 第42-45页 |
| 3.1.2 Al GaN/GaN HEMT器件的小信号特性 | 第45-48页 |
| 3.1.3 Al Ga N/GaN HEMT器件的大信号特性 | 第48-49页 |
| 3.2 Al Ga N/GaN HEMT小信号模型建立 | 第49-57页 |
| 3.2.1 寄生参数提取 | 第51-55页 |
| 3.2.2 本征参数提取 | 第55-57页 |
| 3.3 Al Ga N/GaN HEMT大信号模型建立 | 第57-67页 |
| 3.3.1 EEHEMT模型 | 第58-59页 |
| 3.3.2 模型直流参数提取 | 第59-61页 |
| 3.3.3 模型交流参数提取 | 第61-63页 |
| 3.3.4 Kink效应修正 | 第63-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 S波段谐波抑制高效大功率放大器 | 第68-88页 |
| 4.1 高效率放大器的实现方法 | 第69-72页 |
| 4.1.1 开关模式放大器 | 第69-71页 |
| 4.1.2 Doherty放大器 | 第71-72页 |
| 4.2 S波段高效率放大器电路设计 | 第72-83页 |
| 4.2.1 偏置网络设计 | 第73-74页 |
| 4.2.2 匹配网络设计 | 第74-80页 |
| 4.2.3 稳定网络设计 | 第80-81页 |
| 4.2.4 整体电磁仿真 | 第81-82页 |
| 4.2.5 放大器腔体结构设计 | 第82-83页 |
| 4.3 S波段高效率放大器的实现与测试 | 第83-86页 |
| 4.3.1 放大器的实现 | 第83-84页 |
| 4.3.2 放大器微波特性测试 | 第84-86页 |
| 4.4 本章小结 | 第86-88页 |
| 第五章 C波段内匹配高效大功率放大器 | 第88-108页 |
| 5.1 内匹配技术 | 第88-91页 |
| 5.1.1 电感和电容 | 第89-91页 |
| 5.1.2 陶瓷微带线 | 第91页 |
| 5.2 C波段内匹配放大器电路设计 | 第91-99页 |
| 5.2.1 匹配电路设计 | 第92-97页 |
| 5.2.2 结构与版图设计 | 第97-99页 |
| 5.3 C波段内匹配测试电路设计 | 第99-102页 |
| 5.3.1 测试电路设计 | 第99-101页 |
| 5.3.2 测试架主体设计 | 第101-102页 |
| 5.4 C波段内匹配放大器的实现与测试 | 第102-105页 |
| 5.4.1 放大器的实现 | 第102-103页 |
| 5.4.2 放大器微波特性测试 | 第103-105页 |
| 5.5 本章小结 | 第105-108页 |
| 第六章 C波段内匹配合成功率放大器 | 第108-126页 |
| 6.1 功率合成技术 | 第108-111页 |
| 6.2 C波段内匹配合成放大器电路设计 | 第111-118页 |
| 6.2.1 匹配电路设计 | 第111-117页 |
| 6.2.2 结构与版图设计 | 第117-118页 |
| 6.3 C波段内匹配测试电路设计 | 第118-121页 |
| 6.3.1 测试电路设计 | 第118-120页 |
| 6.3.2 测试架主体设计 | 第120-121页 |
| 6.4 C波段合成放大器的实现与测试 | 第121-125页 |
| 6.4.1 放大器的实现 | 第121-122页 |
| 6.4.2 放大器微波特性测试 | 第122-125页 |
| 6.5 本章小结 | 第125-126页 |
| 第七章 结束语 | 第126-130页 |
| 7.1 本论文主要工作 | 第126-128页 |
| 7.2 未来的研究 | 第128-130页 |
| 参考文献 | 第130-142页 |
| 致谢 | 第142-144页 |
| 作者简介 | 第144-146页 |
