摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
第1章 绪论 | 第8-17页 |
1.1 研究背景 | 第8-9页 |
1.2 研究目的和意义 | 第9页 |
1.3 缓蚀剂简述 | 第9-13页 |
1.3.1 缓蚀剂的发展历史 | 第9-10页 |
1.3.2 缓蚀剂的定义、特点与应用 | 第10页 |
1.3.3 缓蚀剂的分类 | 第10-11页 |
1.3.4 有机缓蚀剂选取的理论依据 | 第11-13页 |
1.4 国内外有机衍生物缓蚀剂研究现状及分析 | 第13-15页 |
1.4.1 有机胺类衍生物研究现状 | 第13页 |
1.4.2 氨基酸衍生物缓蚀剂研究现状 | 第13-14页 |
1.4.3 复合型缓蚀剂研究现状分析 | 第14页 |
1.4.4 大分子缓蚀剂研究现状分析 | 第14-15页 |
1.4.5 发展趋势分析 | 第15页 |
1.5 研究内容 | 第15-17页 |
第2章 实验器材与研究方法 | 第17-22页 |
2.1 实验材料和仪器 | 第17-18页 |
2.1.1 实验试剂 | 第17-18页 |
2.1.2 实验仪器 | 第18页 |
2.1.3 实验试片和腐蚀介质 | 第18页 |
2.2 研究方法 | 第18-22页 |
2.2.1 失重法 | 第18-19页 |
2.2.2 电化学法 | 第19-20页 |
2.2.3 形貌观察、能谱分析法(EDS)和X射线光电子能谱分析法(XPS) | 第20-21页 |
2.2.4 傅立叶变换红外光谱法(FTIR)和紫外可见分光光谱法(UVS) | 第21页 |
2.2.5 量子化学理论计算法 | 第21-22页 |
第3章 三苯胺二醛的合成及其配方的缓蚀性能研究 | 第22-34页 |
3.1 引言 | 第22页 |
3.2 实验部分 | 第22-23页 |
3.2.1 三苯胺二醛(TD)合成方法路线 | 第22-23页 |
3.2.2 三苯胺二醛缓蚀剂的配制 | 第23页 |
3.2.3 三苯胺二醛缓蚀剂的腐蚀试验 | 第23页 |
3.3 结果与讨论 | 第23-33页 |
3.3.1 合成产物红外光谱表征分析 | 第23-24页 |
3.3.2 三苯胺二醛缓蚀效果分析 | 第24-25页 |
3.3.3 三苯胺二醛复合缓蚀剂电化学测试结果分析 | 第25-28页 |
3.3.4 三苯胺二醛的等温吸附 | 第28-29页 |
3.3.5 SEM和EDS分析 | 第29-31页 |
3.3.6 量子化理论计算 | 第31-32页 |
3.3.7 三苯胺二醛复合缓蚀剂机理分析 | 第32-33页 |
3.4 本章小结 | 第33-34页 |
第4章 胞嘧啶-L-丙氨酸的合成及其配方缓蚀性能研究 | 第34-47页 |
4.1 引言 | 第34页 |
4.2 实验部分 | 第34-35页 |
4.2.1 胞嘧啶-L-丙氨酸(CLAD)的合成方法路线 | 第34-35页 |
4.2.2 胞嘧啶-L-丙氨酸缓蚀剂的腐蚀实验 | 第35页 |
4.3 结果与讨论 | 第35-46页 |
4.3.1 合成产物红外光谱表征分析 | 第35-36页 |
4.3.2 胞嘧啶-L-丙氨酸的缓蚀性能分析 | 第36-37页 |
4.3.3 胞嘧啶-L-丙氨酸缓蚀剂的电化学测试 | 第37-40页 |
4.3.4 表面形貌分析 | 第40-42页 |
4.3.5 胞嘧啶-L-丙氨酸的等温吸附和热力学参数 | 第42-44页 |
4.3.6 胞嘧啶-L-丙氨酸的理论计算 | 第44-45页 |
4.3.7 复配及吸附模型 | 第45-46页 |
4.4 本章小结 | 第46-47页 |
第5章 生物大分子DNA的缓蚀性能研究 | 第47-60页 |
5.1 引言 | 第47页 |
5.2 实验部分 | 第47页 |
5.3 结果与讨论 | 第47-59页 |
5.3.1 生物大分子DNA的缓蚀性能分析 | 第47-48页 |
5.3.2 生物大分子DNA缓蚀剂的电化学研究 | 第48-52页 |
5.3.3 生物大分子DNA的等温吸附 | 第52页 |
5.3.4 紫外可见光谱与红外光谱分析 | 第52-53页 |
5.3.5 XPS分析 | 第53-55页 |
5.3.6 生物大分子DNA理论计算 | 第55-58页 |
5.3.7 表面形貌及吸附模型 | 第58-59页 |
5.4 本章小结 | 第59-60页 |
第6章 结论与展望 | 第60-62页 |
6.1 结论 | 第60-61页 |
6.2 展望 | 第61-62页 |
致谢 | 第62-63页 |
参考文献 | 第63-70页 |
附录 | 第70-71页 |
附录1 | 第70页 |
附录2 | 第70-71页 |
攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第71页 |