| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-15页 |
| 1.2 波前检测技术研究现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 点衍射波前检测技术 | 第15-16页 |
| 1.2.2 径向剪切干涉技术 | 第16-17页 |
| 1.2.3 横向剪切干涉技术 | 第17-22页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第22-25页 |
| 第2章 四波横向剪切干涉波前检测系统 | 第25-45页 |
| 2.1 四波横向剪切干涉波前检测技术 | 第25-29页 |
| 2.2 夫琅禾费衍射原理 | 第29-32页 |
| 2.3 现有衍射光栅比较 | 第32-42页 |
| 2.3.1 线光栅 | 第34-35页 |
| 2.3.2 余弦型振幅光栅 | 第35-37页 |
| 2.3.3 锯齿型相位光栅 | 第37-39页 |
| 2.3.4 改进的哈特曼模板(MHM) | 第39-42页 |
| 2.4 小结 | 第42-45页 |
| 第3章 随机编码混合光栅设计 | 第45-59页 |
| 3.1 随机编码混合光栅设计原理 | 第45-50页 |
| 3.2 基于随机编码混合光栅的四波横向剪切干涉系统参数确定 | 第50-56页 |
| 3.3 小结 | 第56-59页 |
| 第4章 随机编码混合光栅的加工及误差分析 | 第59-67页 |
| 4.1 光栅的加工工艺 | 第59-61页 |
| 4.2 误差分析 | 第61-65页 |
| 4.2.1 系统误差 | 第61-62页 |
| 4.2.2 深度刻蚀误差 | 第62-63页 |
| 4.2.3 侧壁陡直性误差 | 第63-64页 |
| 4.2.4 对准误差 | 第64-65页 |
| 4.3 小结 | 第65-67页 |
| 第5章 四波横向剪切干涉实验研究 | 第67-73页 |
| 5.1 随机编码混合光栅样品检测 | 第67-68页 |
| 5.2 四波横向剪切干涉实验 | 第68-71页 |
| 5.2.1 实验装置 | 第68-69页 |
| 5.2.2 干涉图分析 | 第69-71页 |
| 5.3 小结 | 第71-73页 |
| 第6章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 论文主要工作及创新点 | 第73页 |
| 6.2 未来展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 作者简历及主要研究成果 | 第79页 |