| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器 | 第10-11页 |
| 1.2 氧化铟 | 第11-12页 |
| 1.3 四氧化三钴 | 第12-13页 |
| 1.4 贵金属Ag的应用 | 第13-14页 |
| 1.5 本文的研究目的及意义 | 第14-15页 |
| 2 Co_3O_4-In_2O_3的制备及其气敏性能研究 | 第15-32页 |
| 2.1 引言 | 第15-16页 |
| 2.2 实验部分 | 第16-18页 |
| 2.2.1 实验试剂 | 第16页 |
| 2.2.2 实验仪器 | 第16页 |
| 2.2.3 Co_3O_4-In_2O_3异质结结构的合成 | 第16-17页 |
| 2.2.4 表征测试 | 第17页 |
| 2.2.5 气体传感器的组装和测量 | 第17-18页 |
| 2.3 结果讨论 | 第18-30页 |
| 2.3.1 Co_3O_4-In_2O_3异质结结构表征 | 第18-21页 |
| 2.3.2 Co_3O_4-In_2O_3异质结形貌分析 | 第21-23页 |
| 2.3.3 Co_3O_4-In_2O_3异质结气敏性能测试 | 第23-29页 |
| 2.3.4 Co_3O_4-In_2O_3异质结气敏响应机理 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 3 In_2O_3-Ag的制备及其气敏性能研究 | 第32-42页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 实验部分 | 第33-35页 |
| 3.2.1 实验试剂 | 第33页 |
| 3.2.2 实验仪器 | 第33页 |
| 3.2.3 三维立体花状结构In_2O_3的合成 | 第33-34页 |
| 3.2.4 In_2O_3-Ag复合体系的合成 | 第34页 |
| 3.2.5 表征测试 | 第34页 |
| 3.2.6 气体传感器的组装和测量 | 第34-35页 |
| 3.3 结果讨论 | 第35-41页 |
| 3.3.1 In_2O_3-Ag复合体系的结构表征 | 第35-37页 |
| 3.3.2 In_2O_3-Ag复合体系的形貌分析 | 第37-39页 |
| 3.3.3 In_2O_3-Ag复合体系气敏性能测试 | 第39-40页 |
| 3.3.4 In_2O_3-Ag复合体系气敏响应机理 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 Co_3O_4-Ag的制备及其气敏性能研究 | 第42-53页 |
| 4.1 引言 | 第42-43页 |
| 4.2 实验部分 | 第43-45页 |
| 4.2.1 实验试剂 | 第43页 |
| 4.2.2 实验仪器 | 第43页 |
| 4.2.3 Co_3O_4纳米颗粒的合成 | 第43页 |
| 4.2.4 Co_3O_4-Ag复合体系的合成 | 第43-44页 |
| 4.2.5 表征测试 | 第44页 |
| 4.2.6 气体传感器的组装和测量 | 第44-45页 |
| 4.3 结果讨论 | 第45-52页 |
| 4.3.1 Co_3O_4-Ag复合体系的结构表征 | 第45-47页 |
| 4.3.2 Co_3O_4-Ag复合体系的形貌分析 | 第47-49页 |
| 4.3.3 Co_3O_4-Ag复合体系气敏性能研究 | 第49-51页 |
| 4.3.4 Co_3O_4-Ag复合体系气敏响应机理 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 结论 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-65页 |
| 附录 | 第65页 |
