| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| ·集成光子器件的发展现状和应用前景 | 第11-15页 |
| ·集成光子器件在光通信和光互联中的应用 | 第12-13页 |
| ·集成光子器件在光传感中的应用 | 第13-15页 |
| ·提高集成光子器件集成度的方法 | 第15-24页 |
| ·SOI基硅波导及其器件 | 第16-19页 |
| ·表面等离子体光波导及其器件 | 第19-24页 |
| ·论文研究的主要内容和创新点 | 第24-27页 |
| ·主要内容 | 第24-25页 |
| ·创新点 | 第25-27页 |
| 第二章 硅基谐振型微腔传感器 | 第27-67页 |
| ·集成型光学生化传感器基本原理及其分类 | 第27-30页 |
| ·波导结构的选择 | 第28-29页 |
| ·集成型光学生化传感器性能指标 | 第29-30页 |
| ·探测相位变化的方法 | 第30-40页 |
| ·利用光学干涉间接探测功率法 | 第30-33页 |
| ·利用光学谐振间接探测波长法 | 第33-40页 |
| ·利用TMM法求解法布里-波罗谐振腔的频谱响应 | 第34-35页 |
| ·利用TMM法求解微环谐振腔的频谱响应 | 第35-37页 |
| ·谐振腔型传感器性能分析 | 第37-40页 |
| ·硅纳米线光波导器件制作流程和测试系统 | 第40-44页 |
| ·制作流程 | 第40-42页 |
| ·波导—光纤耦合方式和测试系统 | 第42-44页 |
| ·基于马赫-曾德反馈式微环谐振腔的光学传感器 | 第44-53页 |
| ·结构原理 | 第44-46页 |
| ·设计仿真 | 第46-48页 |
| ·实验结果 | 第48-53页 |
| ·基于级联双环的数字式光学传感器 | 第53-58页 |
| ·结构原理 | 第53-54页 |
| ·设计仿真 | 第54-56页 |
| ·部分实验结果 | 第56-58页 |
| ·基于布拉格光栅式法布里-波罗谐振腔的光学传感器 | 第58-65页 |
| ·结构原理 | 第59页 |
| ·设计仿真 | 第59-63页 |
| ·部分实验结果 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第三章 硅基混合型表面等离子体光波导器件 | 第67-93页 |
| ·表面等离子体光波导工作原理 | 第67-71页 |
| ·金属的色散模型(Drude模型) | 第67-68页 |
| ·电介质/金属交界面上的表面等离子体波 | 第68-70页 |
| ·光场限制能力和传播长度 | 第70-71页 |
| ·硅基混合型等离子体光波导 | 第71-75页 |
| ·硅基混合型等离子体光波导的弯曲半径 | 第75-76页 |
| ·基于硅基混合型等离子体光波导的方向耦合器 | 第76-81页 |
| ·对称型方向耦合器 | 第76-79页 |
| ·非对称型方向耦合器 | 第79-81页 |
| ·基于硅基混合型等离子体光波导的多模干涉器 | 第81-87页 |
| ·基于硅基混合型等离子体光波导的Y分支器件 | 第87-90页 |
| ·硅基混合型等离子体光波导和硅纳米线光波导的混合集成 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第四章 总结与展望 | 第93-97页 |
| ·工作总结 | 第93-94页 |
| ·工作展望 | 第94-97页 |
| 参考文献 | 第97-105页 |
| 作者简历 | 第105页 |
| 教育经历 | 第105页 |
| 在硕士期间发表的论文 | 第105页 |