微晶玻璃超精密加工亚表层损伤预测方法及实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题来源及研究的目的意义 | 第9-11页 |
| ·课题来源 | 第9页 |
| ·课题研究的目的意义 | 第9-11页 |
| ·光学元件的超精密加工技术 | 第11-12页 |
| ·亚表层损伤的研究现状 | 第12-14页 |
| ·国外研究现状 | 第12-14页 |
| ·国内研究现状 | 第14页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 亚表层损伤深度的实验研究 | 第16-28页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·亚表层损伤产生机理 | 第16-18页 |
| ·研磨产生亚表层损伤机理 | 第16-17页 |
| ·抛光产生亚表层损伤机理 | 第17-18页 |
| ·亚表层损伤深度的检测方法 | 第18-19页 |
| ·大气等离子体抛光方法 | 第18-19页 |
| ·实验所用仪器设备介绍 | 第19页 |
| ·亚表层损伤深度的检测结果 | 第19-27页 |
| ·研磨试件亚表层损伤深度 | 第20-25页 |
| ·抛光试件亚表层损伤深度 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 纳米压痕实验的有限元仿真 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·纳米压痕实验介绍 | 第28-29页 |
| ·有限元仿真 | 第29-32页 |
| ·有限元模型的建立 | 第29-30页 |
| ·材料参数的输入 | 第30-31页 |
| ·接触及约束的定义 | 第31-32页 |
| ·载荷步的施加 | 第32页 |
| ·仿真结果分析 | 第32-37页 |
| ·塑性性能的确定 | 第32-33页 |
| ·残余应力分析 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 基于纳米压痕疲劳实验的脆塑转变研究 | 第38-49页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·断裂韧性的研究 | 第38-40页 |
| ·维氏压痕实验 | 第38-39页 |
| ·维氏硬度及断裂韧性的计算 | 第39-40页 |
| ·产生裂纹的临界压力载荷 | 第40-44页 |
| ·临界压力载荷的理论计算 | 第40-41页 |
| ·纳米压痕实验验证 | 第41-44页 |
| ·纳米压痕疲劳实验研究 | 第44-47页 |
| ·疲劳失效理论 | 第44页 |
| ·循环纳米压痕实验 | 第44-45页 |
| ·加工疲劳对临界压力载荷的影响 | 第45-47页 |
| ·加工疲劳对临界磨削深度的影响 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 抛光工艺参数优化的实验研究 | 第49-63页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·抛光工艺参数优化的实验设计 | 第49-54页 |
| ·抛光实验设备介绍 | 第49-50页 |
| ·实验设计方案 | 第50-51页 |
| ·回归方程的确定及检验 | 第51-54页 |
| ·抛光工艺参数的多目标优化 | 第54-59页 |
| ·理想点法的基本原理 | 第55页 |
| ·抛光工艺参数优化结果 | 第55-57页 |
| ·最优工艺参数的实验验证 | 第57-59页 |
| ·加工工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第59-60页 |
| ·加工工艺参数对亚表层损伤深度的影响 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
