| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·研究背景 | 第9页 |
| ·理论意义 | 第9页 |
| ·实际意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·FMEA 方法 | 第10-12页 |
| ·改良西门子法生产多晶硅发展趋势 | 第12页 |
| ·主要研究内容 | 第12-13页 |
| ·模糊 FMEA 法风险模型 | 第12页 |
| ·项目工艺风险识别 | 第12-13页 |
| ·研究制定预防措施 | 第13页 |
| ·研究方法和技术路线 | 第13页 |
| ·主要创新点 | 第13-14页 |
| ·文章结构 | 第14-16页 |
| 2 模糊 FMEA 评价方法理论基础 | 第16-23页 |
| ·模糊 FMEA 评价方法特点 | 第16-18页 |
| ·FMEA 概述 | 第16页 |
| ·模糊 FMEA 概述 | 第16-18页 |
| ·故障模式划分的理论基础 | 第18页 |
| ·风险单元评估的理论基础 | 第18-23页 |
| 3 针对长治某硅厂的模糊 FMEA 风险分析模型建立 | 第23-44页 |
| ·长治某硅矿设计工艺过程分析 | 第23-35页 |
| ·主要设计工艺 | 第23-30页 |
| ·设计工艺分析 | 第30-35页 |
| ·模糊 FMEA 风险分析模型建立 | 第35-44页 |
| ·模糊术语集的建立与改进 | 第35-36页 |
| ·故障模式的划分 | 第36-37页 |
| ·风险单元评价工作 | 第37-40页 |
| ·模糊语言变量与隶属度 | 第40-41页 |
| ·模糊规则与推理 | 第41-44页 |
| 4 模糊 FMEA 风险分析模型应用 | 第44-50页 |
| ·模型应用 | 第44页 |
| ·RPN 计算与结果汇总 | 第44-47页 |
| ·模型结论与改进措施探讨 | 第47-50页 |
| 5 结论与展望 | 第50-52页 |
| ·本文主要结论 | 第50页 |
| ·展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 附表A：故障模式评估表 | 第55-60页 |
| 在学期间发表的论著及取得的科研成果 | 第60页 |