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基于压差法的透气性测试装置关键技术研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
目录第9-12页
Contents第12-15页
第一章 绪论第15-22页
   ·本研究课题的学术背景及理论与实际意义第15-17页
   ·国内外与本课题相关的发展概况第17-20页
     ·透气性测试装置的密封结构第17-18页
     ·透气性测试装置的传热模型第18页
     ·透气性测试装置的温度控制第18-20页
   ·本文的主要研究内容第20-22页
第二章 透气性测试装置密封结构的研究第22-37页
   ·透气性测试装置双密封结构设计第22-32页
     ·透气性测试装置双密封结构设计描述第22-24页
     ·透气性测试装置双密封结构数学模型第24-25页
     ·透气性测试装置双密封结构压强变化特性第25-27页
     ·透气性测试装置双密封结构模型简化第27-29页
     ·应用仿真第29-30页
     ·实验结果与分析第30-32页
   ·透气性测试装置三层密封结构设计第32-36页
     ·透气性测试装置三层密封结构设计描述第32-33页
     ·透气性测试装置三层密封结构数学模型第33-34页
     ·透气性测试装置三层密封结构压强变化特性第34-35页
     ·应用仿真第35-36页
   ·本章小结第36-37页
第三章 透气性测试装置双密封结构优化研究第37-48页
   ·双密封结构的结构比对压强变化的影响第37-41页
   ·双密封结构的优化第41-43页
   ·优化仿真第43-44页
   ·实验结果与分析第44-47页
   ·本章小结第47-48页
第四章 透气性测试装置传热模型第48-68页
   ·透气性测试装置温度控制器件的选择第48-50页
     ·半导体制冷片的工作原理第49-50页
   ·透气性测试装置温度测量方法的选择第50页
   ·透气性测试装置温度测量装置的选择第50页
   ·基于机器视觉的温度测量系统第50-53页
     ·系统的结构和原理第50-51页
     ·温度标定的原理和实现方法第51-52页
     ·图像处理第52-53页
   ·透气性测试装置传热模型第53-63页
     ·基于半导体制冷热透气性测试装置传热模型描述第53-56页
     ·透气性测试装置温度场的解析解第56-60页
     ·透气性测试装置传热模型应用仿真第60-62页
     ·实验结果与分析第62-63页
   ·透气性测试装置导热传递函数第63-66页
     ·仿真和实验曲线确定透气性测试装置导热的传递函数第64页
     ·传递函数参数的求解第64-66页
   ·本章小结第66-68页
第五章 透气性测试装置恒温控制第68-83页
   ·基于半导体制冷热透气性测试装置恒温控制系统第68页
   ·预测函数控制的基本原理第68-71页
     ·基函数的概念第69页
     ·预测模型第69-70页
     ·滚动优化第70-71页
     ·反馈校正第71页
   ·典型工业过程的预测函数控制第71-75页
     ·一阶过程的预测函数控制第71-74页
     ·一阶加纯滞后过程的预测函数控制第74-75页
   ·透气性测试中基于预测函数控制的恒温控制第75-81页
     ·仿真结果第76-79页
       ·对象一个参数变化下控制系统的鲁棒性第76-77页
       ·对象综合参数变化下控制系统的鲁棒性第77-78页
       ·预测模型失配下控制系统的鲁棒性第78-79页
     ·基于PWM调节的预测函数控制实现第79-81页
   ·温度控制系统实验结果与分析第81-82页
     ·腔体升温实验第81-82页
     ·腔体降温实验第82页
   ·本章小结第82-83页
第六章 透气性测试实验与误差分析第83-88页
   ·薄膜透气性测试实验第83-84页
   ·影响薄膜透气性测试结果的因素第84页
   ·薄膜透气性测试的误差分析第84-87页
     ·误差的合成与分配第84-85页
     ·透气性测试透气量误差分析第85-87页
   ·本章小结第87-88页
总结与展望第88-90页
参考文献第90-99页
一、在读博士期间撰写的论文第99页
二、在读博士期间申请的发明专利第99页
三、在读博士期间参与的科硏项目第99-101页
致谢第101页

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