基于压差法的透气性测试装置关键技术研究
摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-9页 |
目录 | 第9-12页 |
Contents | 第12-15页 |
第一章 绪论 | 第15-22页 |
·本研究课题的学术背景及理论与实际意义 | 第15-17页 |
·国内外与本课题相关的发展概况 | 第17-20页 |
·透气性测试装置的密封结构 | 第17-18页 |
·透气性测试装置的传热模型 | 第18页 |
·透气性测试装置的温度控制 | 第18-20页 |
·本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
第二章 透气性测试装置密封结构的研究 | 第22-37页 |
·透气性测试装置双密封结构设计 | 第22-32页 |
·透气性测试装置双密封结构设计描述 | 第22-24页 |
·透气性测试装置双密封结构数学模型 | 第24-25页 |
·透气性测试装置双密封结构压强变化特性 | 第25-27页 |
·透气性测试装置双密封结构模型简化 | 第27-29页 |
·应用仿真 | 第29-30页 |
·实验结果与分析 | 第30-32页 |
·透气性测试装置三层密封结构设计 | 第32-36页 |
·透气性测试装置三层密封结构设计描述 | 第32-33页 |
·透气性测试装置三层密封结构数学模型 | 第33-34页 |
·透气性测试装置三层密封结构压强变化特性 | 第34-35页 |
·应用仿真 | 第35-36页 |
·本章小结 | 第36-37页 |
第三章 透气性测试装置双密封结构优化研究 | 第37-48页 |
·双密封结构的结构比对压强变化的影响 | 第37-41页 |
·双密封结构的优化 | 第41-43页 |
·优化仿真 | 第43-44页 |
·实验结果与分析 | 第44-47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
第四章 透气性测试装置传热模型 | 第48-68页 |
·透气性测试装置温度控制器件的选择 | 第48-50页 |
·半导体制冷片的工作原理 | 第49-50页 |
·透气性测试装置温度测量方法的选择 | 第50页 |
·透气性测试装置温度测量装置的选择 | 第50页 |
·基于机器视觉的温度测量系统 | 第50-53页 |
·系统的结构和原理 | 第50-51页 |
·温度标定的原理和实现方法 | 第51-52页 |
·图像处理 | 第52-53页 |
·透气性测试装置传热模型 | 第53-63页 |
·基于半导体制冷热透气性测试装置传热模型描述 | 第53-56页 |
·透气性测试装置温度场的解析解 | 第56-60页 |
·透气性测试装置传热模型应用仿真 | 第60-62页 |
·实验结果与分析 | 第62-63页 |
·透气性测试装置导热传递函数 | 第63-66页 |
·仿真和实验曲线确定透气性测试装置导热的传递函数 | 第64页 |
·传递函数参数的求解 | 第64-66页 |
·本章小结 | 第66-68页 |
第五章 透气性测试装置恒温控制 | 第68-83页 |
·基于半导体制冷热透气性测试装置恒温控制系统 | 第68页 |
·预测函数控制的基本原理 | 第68-71页 |
·基函数的概念 | 第69页 |
·预测模型 | 第69-70页 |
·滚动优化 | 第70-71页 |
·反馈校正 | 第71页 |
·典型工业过程的预测函数控制 | 第71-75页 |
·一阶过程的预测函数控制 | 第71-74页 |
·一阶加纯滞后过程的预测函数控制 | 第74-75页 |
·透气性测试中基于预测函数控制的恒温控制 | 第75-81页 |
·仿真结果 | 第76-79页 |
·对象一个参数变化下控制系统的鲁棒性 | 第76-77页 |
·对象综合参数变化下控制系统的鲁棒性 | 第77-78页 |
·预测模型失配下控制系统的鲁棒性 | 第78-79页 |
·基于PWM调节的预测函数控制实现 | 第79-81页 |
·温度控制系统实验结果与分析 | 第81-82页 |
·腔体升温实验 | 第81-82页 |
·腔体降温实验 | 第82页 |
·本章小结 | 第82-83页 |
第六章 透气性测试实验与误差分析 | 第83-88页 |
·薄膜透气性测试实验 | 第83-84页 |
·影响薄膜透气性测试结果的因素 | 第84页 |
·薄膜透气性测试的误差分析 | 第84-87页 |
·误差的合成与分配 | 第84-85页 |
·透气性测试透气量误差分析 | 第85-87页 |
·本章小结 | 第87-88页 |
总结与展望 | 第88-90页 |
参考文献 | 第90-99页 |
一、在读博士期间撰写的论文 | 第99页 |
二、在读博士期间申请的发明专利 | 第99页 |
三、在读博士期间参与的科硏项目 | 第99-101页 |
致谢 | 第101页 |