集成垂直耦合结构的光波导电光调制器研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-11页
第一章 绪论	第11-20页
·课题研究背景及意义	第11-13页
·硅基光波导基础单元器件国内外发展现状	第13-18页
·本人主要研究工作	第18-20页
第二章 SOI 微环谐振腔调制器的基本理论分析	第20-68页
·波导耦合理论	第20-23页
·矩形波导传输模式	第23-26页
·光栅垂直耦合器	第26-42页
·端面耦合	第26-27页
·衍射光栅基本原理	第27-31页
·衍射光栅的主要性能	第31-35页
·衍射光栅耦合器的设计	第35-41页
·光纤-光栅封装结构设计	第41-42页
·微环谐振器基本特性分析	第42-59页
·微环谐振器理论模型及谐振特性	第42-45页
·环形谐振器主要性能参数	第45-47页
·谐振耦合诱导透明效应	第47-48页
·环形谐振器的仿真设计	第48-53页
·芯片结构总体版图	第53-55页
·谐振耦合诱导透明效应结构设计	第55-59页
·电光调制器相关理论分析	第59-66页
·电光调制器主要性能参数	第59-61页
·硅的等离子体色散效应	第61-62页
·载流子浓度与外加偏压及谐振频移关系	第62-63页
·电光调制器的结构设计	第63-66页
·本章小结	第66-68页
第三章 电光调制器的工艺与制备	第68-85页
·光栅垂直耦合器及环形谐振器的制备	第68-80页
·第一次流片的关键工艺	第69-72页
·第二次流片的关键工艺	第72-77页
·完成后的器件	第77-80页
·光波导电光调制器的制备及结果	第80-84页
·关键工艺	第81-83页
·完成后的器件	第83-84页
·本章小结	第84-85页
第四章 电光调制器测试	第85-100页
·光栅耦合器的实验测试与结果分析	第85-90页
·端面耦合	第85-86页
·光栅垂直耦合	第86-89页
·光纤-光栅封装测试	第89-90页
·环形谐振器的实验测试与结果分析	第90-97页
·特性测试	第91-94页
·耦合诱导透明效应的验证	第94-97页
·调制器的测试与结果分析	第97-99页
·调制器的静态特性测试	第97-98页
·调制器的动态特性测试	第98-99页
·本章小结	第99-100页
第五章 总结与展望	第100-102页
·论文主要研究工作及创新性	第100-101页
·工作展望	第101-102页
参考文献	第102-111页
攻读博士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果	第111-112页
致谢	第112-113页