GaSb欧姆接触制备及电学特性研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-16页
·引言	第7-8页
·锑化物半导体激光器研究进展	第8-12页
·锑化物表面钝化的研究进展	第12-14页
·锑化物欧姆接触研究进展	第14-15页
·本论文的主要工作	第15-16页
第二章 表面硫钝化技术研究	第16-20页
·表面态	第16-17页
·表面态对半导体器件的影响	第17页
·Ⅲ-Ⅴ族半导体表面钝化介绍	第17页
·GaSb表面硫钝化技术研究	第17-20页
第三章 金属—半导体接触	第20-36页
·功函数	第20-21页
·电势差	第21-22页
·表面态	第22-24页
·电流传输机理	第24-33页
·GaSb基半导体欧姆接触	第33-36页
第四章 GaSb钝化实验及结果分析	第36-41页
·GaSb的钝化方法以及钝化溶液的选择	第36页
·实验方案	第36页
·仪器介绍	第36-38页
·实验结果及分析	第38-41页
第五章 GaSb欧姆接触制备及特性研究	第41-54页
·欧姆接触设计方案	第41页
·实验仪器	第41-46页
·欧姆接触实验过程	第46-48页
·GaSb基欧姆接触表面形貌的分析	第48-49页
·Ⅰ-Ⅴ测量及GaSb欧姆接触电阻率计算	第49-54页
第六章 结论与展望	第54-55页
致谢	第55-56页
参考文献	第56-60页