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基于石墨烯异质结的光电性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-26页
   ·引言第10页
   ·石墨烯的结构第10-11页
   ·石墨烯的性质第11-14页
     ·光学性能第11-12页
     ·电学性能第12页
     ·力学性能第12-13页
     ·热学性能第13-14页
   ·石墨烯的制备第14-17页
     ·机械剥离第15页
     ·SiC外延生长第15页
     ·氧化还原法第15-16页
     ·化学气相沉积第16-17页
   ·石墨烯的应用第17-24页
     ·场效应晶体管第17-20页
     ·太阳能电池第20-23页
     ·光电二极管第23-24页
   ·本文研究内容与意义第24-26页
     ·研究内容第24-25页
     ·研究意义第25-26页
2 制备方法与表征技术第26-32页
   ·薄膜制备方法第26-27页
     ·引言第26页
     ·磁控溅射第26页
     ·化学气相沉积第26-27页
   ·快速热退火处理第27-28页
   ·光刻与刻蚀第28-29页
   ·表征方法第29-32页
     ·X射线衍射(XRD)第29页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第29-30页
     ·高分辨透射电子显微镜(HRTEM)第30页
     ·拉曼(Raman)光谱第30-31页
     ·X射线光电子能谱分析(XPS)第31-32页
3 石墨烯的制备与表征第32-46页
   ·引言第32页
   ·CVD法制备石墨烯的原理第32-33页
   ·石墨烯的制备第33-37页
     ·石墨烯的生长第33-36页
     ·石墨烯的转移第36-37页
   ·石墨烯的表征第37-42页
     ·光学显微镜第37-38页
     ·扫描电子显微镜分析第38-40页
     ·高分辨透射显微分析第40-41页
     ·拉曼光谱分析第41-42页
     ·X射线光电子能谱分析第42页
   ·石墨烯场效应晶体管(GFET)第42-45页
     ·背栅GFET的制作第43页
     ·GFET的电学特性第43-45页
   ·本章小结第45-46页
4 石墨烯/ZnO异质结电致发光性能研究第46-59页
   ·引言第46页
   ·样品制备第46-48页
   ·ZnO薄膜的制备及其结构表征第48-54页
   ·石墨烯/氧化锌异质结的Ⅰ-Ⅴ特性第54-55页
   ·石墨烯/ZnO异质结的电致发光第55-56页
   ·机制分析第56-57页
   ·本章小结第57-59页
5 石墨烯/n-Si异质结光电性能研究第59-67页
   ·引言第59-60页
   ·样品制备第60-61页
   ·光伏性能测试第61-64页
   ·光响应性能第64页
   ·机制分析第64-66页
   ·本章小结第66-67页
结论第67-68页
参考文献第68-74页
攻读硕士学位期间取得的学术成果第74-75页
致谢第75页

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