MOCVD温度控制系统设计
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·课题研究内容及论文组织结构 | 第12-14页 |
| ·课题研究内容 | 第12-13页 |
| ·论文组织结构 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 MOCVD系统简介 | 第15-26页 |
| ·MOCVD方案介绍 | 第15-19页 |
| ·MOCVD方案生长流程 | 第15-18页 |
| ·MOCVD方案优缺点 | 第18-19页 |
| ·MOCVD系统组成 | 第19-22页 |
| ·人机控制系统 | 第19-20页 |
| ·气体运输系统 | 第20-21页 |
| ·冷却系统 | 第21-22页 |
| ·MOCVD反应腔结构 | 第22-25页 |
| ·常见反应腔结构 | 第22-24页 |
| ·反应腔加热器结构 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 MOCVD软硬件仿真平台设计 | 第26-48页 |
| ·MOCVD硬件仿真平台 | 第26-34页 |
| ·基于xPC Target的对象平台搭建 | 第27-29页 |
| ·数据采集卡驱动实现 | 第29-32页 |
| ·温度控制器功能设计 | 第32-34页 |
| ·MOCVD软件仿真平台 | 第34-39页 |
| ·基于Simulink的控制方案实现 | 第34-36页 |
| ·xPC Target监控软件设计 | 第36-38页 |
| ·温度控制监控软件设计 | 第38-39页 |
| ·常规PID控制算法在MOCVD设备上的应用 | 第39-46页 |
| ·PID控制简介 | 第40-42页 |
| ·仿真验证平台可行性 | 第42-44页 |
| ·真实平台测试效果分析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 MOCVD温度智能控制算法设计 | 第48-66页 |
| ·智能控制算法简介 | 第48-51页 |
| ·智能控制的发展 | 第48-49页 |
| ·智能控制算法的分类 | 第49-51页 |
| ·MOCVD温度模糊控制器设计 | 第51-59页 |
| ·模糊控制算法介绍 | 第51-54页 |
| ·基于变论域的模糊控制器设计 | 第54-58页 |
| ·模糊控制器测试效果分析 | 第58-59页 |
| ·MOCVD温度神经网络控制器设计 | 第59-65页 |
| ·神经网络算法介绍 | 第59-60页 |
| ·多层感知器与BP算法 | 第60-62页 |
| ·基于建模的神经网络控制器设计 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·工作总结 | 第66页 |
| ·展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 硕士期间参与的项目和发表的论文 | 第70页 |
