微Schwarzschild物镜的设计与MEMS制作研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-14页 |
| ·微光学背景介绍 | 第10-11页 |
| ·国内外发展状况 | 第11页 |
| ·Schwarzschild物镜系统发展概况 | 第11-12页 |
| ·本课题主要创新点 | 第12-14页 |
| 2 微Schwarzschild物镜系统光学设计 | 第14-41页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·经典双反射镜光学系统介绍 | 第14-16页 |
| ·微Schwarzschild物镜系统设计 | 第16-31页 |
| ·光线追迹仿真 | 第31-35页 |
| ·系统容差特性仿真 | 第35-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 主镜的设计与制作工艺研究 | 第41-62页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·微透镜制作方法简介 | 第42-43页 |
| ·微透镜几何尺寸设计 | 第43-46页 |
| ·微透镜制作工艺 | 第46-58页 |
| ·主镜制作工艺 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 4 次镜的设计与制作工艺研究 | 第62-83页 |
| ·引言 | 第62-63页 |
| ·硅各向同性腐蚀简介 | 第63-64页 |
| ·腐蚀原理及数学模型 | 第64-66页 |
| ·硅的各向同性腐蚀实验 | 第66-71页 |
| ·实验结果分析 | 第71-79页 |
| ·次镜制作工艺 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 5 系统集成 | 第83-102页 |
| ·引言 | 第83页 |
| ·主镜的集成处理 | 第83-96页 |
| ·次镜和垫片的集成处理 | 第96-99页 |
| ·硅片键合 | 第99-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 6 系统光学性能测试 | 第102-109页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·仿真计算 | 第102-104页 |
| ·测试平台 | 第104-107页 |
| ·本章小结 | 第107-109页 |
| 7 总结与展望 | 第109-112页 |
| ·研究工作总结 | 第109-110页 |
| ·研究展望 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-123页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第123-124页 |
| 附录2 攻读博士学位期间专利授权与申请情况 | 第124页 |
