高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛优化设计与制作工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| ·课题概述 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-23页 |
| ·本文主要研究内容 | 第23-24页 |
| 2 壁虎毛粘附机理研究 | 第24-51页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·单根纤维的粘附与脱附过程分析 | 第25-34页 |
| ·纤维阵列的粗糙表面适应性分析 | 第34-45页 |
| ·纤维阵列的疏水性与白清洁特性分析 | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 3 仿壁虎毛结构优化设计 | 第51-78页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·仿壁虎毛结构层数选择 | 第51-53页 |
| ·仿壁虎毛结构优化设计中的若干约束 | 第53-69页 |
| ·自底向上的多级结构优化设计过程 | 第69-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 4 仿壁虎毛结构制作工艺 | 第78-101页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·基于厚胶光刻的单层阵列制作工艺 | 第78-87页 |
| ·基于ICP刻蚀的单层阵列制作工艺 | 第87-95页 |
| ·基于ICP刻蚀与厚胶光刻的双层阵列制作工艺 | 第95-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 5 仿壁虎毛结构性能测试 | 第101-114页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·仿壁虎毛结构疏水性能测试 | 第101-106页 |
| ·仿壁虎毛结构力学性能测试 | 第106-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 6 总结与展望 | 第114-118页 |
| ·全文总结 | 第114-115页 |
| ·本文创新点 | 第115-116页 |
| ·研究展望 | 第116-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-128页 |
| 附录 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第128页 |
