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Cu2ZnSnS4薄膜及其器件研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-7页
致谢第7-14页
第一章 绪论第14-23页
   ·引言第14-15页
   ·太阳能电池的工作原理与性能参数第15-17页
     ·太阳能电池的工作原理第15-16页
     ·太阳能电池的性能表征第16-17页
       ·开路电压 V_(OC)第16页
       ·短路电流 I-(SC)第16-17页
       ·填充因子 FF第17页
       ·转换效率第17页
   ·太阳电池的分类第17-19页
     ·硅系太阳能电池第17-18页
       ·单晶硅太阳能电池第17-18页
       ·多晶硅太阳能电池第18页
       ·非晶硅太阳能电池第18页
     ·化合物太阳能电池第18-19页
       ·Ⅲ-Ⅴ族化合物太阳能电池第18页
       ·Ⅱ-Ⅵ族化合物太阳能电池第18-19页
       ·Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ族化合物太阳能电池第19页
   ·Cu_2ZnSnS_4太阳能电池材料第19-22页
     ·CZTS 结构第19-20页
     ·CZTS 的研究进展第20-22页
   ·本论文的研究背景、意义及主要工作第22-23页
第二章 材料的制备技术及表征手段第23-29页
   ·材料的制备方法第23-25页
     ·脉冲激光沉积第23页
     ·磁控溅射第23-24页
     ·电子束蒸发法第24页
     ·溶胶-凝胶法第24-25页
     ·喷雾热解法第25页
     ·电化学沉积第25页
   ·材料表征测试第25-29页
     ·X 射线能量色散谱第25-26页
     ·X 射线衍射第26页
     ·原子力显微镜第26-27页
     ·紫外-可见-近红外分光光度计第27页
     ·四探针法第27-28页
     ·冷热探针法第28页
     ·I-V 特性测试第28-29页
第三章 脉冲激光沉积法制备 Cu_2ZnSnS_4薄膜第29-38页
   ·脉冲激光沉积原理第29-30页
   ·镀膜过程中影响薄膜生长的主要因素第30-31页
   ·脉冲激光沉积实验装置第31页
   ·靶材制备与基片清洗第31-32页
     ·靶材的制备第31-32页
     ·基片清洗第32页
   ·CZTS 薄膜样品的制备及表征第32-37页
     ·CZTS 薄膜样品的化学计量比分析第32-33页
     ·CZTS 薄膜样品的 XRD 衍射花样第33-34页
     ·CZTS 薄膜样品的表面形貌第34-35页
     ·CZTS 薄膜样品的光学性质第35-37页
     ·CZTS 薄膜样品的导电类型及电阻率的测试第37页
   ·本章小结第37-38页
第四章 磁控溅射法制备 Cu_2ZnSnS_4薄膜第38-48页
   ·磁控溅射原理第38-39页
   ·镀膜过程中影响薄膜生长的主要因素第39页
   ·磁控溅射实验装置第39-40页
   ·靶材制备与基片清洗第40-42页
     ·CZTS 靶材的制备与表征第40-42页
       ·CZTS 靶材的制备第40-41页
       ·CZTS 靶材的表征第41-42页
     ·基片清洗第42页
   ·磁控溅射制备 CZTS 薄膜样品及表征第42-47页
     ·CZTS 薄膜样品组分分析第42-43页
     ·CZTS 薄膜样品 XRD 测试分析第43-45页
     ·CZTS 薄膜样品的表面形貌分析第45-46页
     ·CZTS 薄膜样品的光学性质第46-47页
     ·CZTS 薄膜样品的导电类型及电阻率测试第47页
   ·本章小结第47-48页
第五章 Cu_2ZnSnS_4/Si 异质结器件第48-55页
   ·p-CZTS/n-Si 异质结器件结构第48页
   ·p-CZTS/n-Si 异质结器件制备第48页
   ·金属与半导体的接触及电极的制备第48-49页
   ·p-CZTS/n-Si 异质结的 XRD 测试分析第49-50页
   ·异质结的表面形貌分析第50页
   ·器件的 I-V 特性第50-53页
     ·金属电极与半导体的接触第50-51页
     ·器件的 I-V 特性第51-53页
   ·p-CZTS/n-Si 异质结器件的光电转换效率第53-54页
   ·本章小结第54-55页
第六章 Cu_2ZnSnS_4/ZnS 异质结器件第55-58页
   ·p-CZTS/n-ZnS 异质结器件结构第55页
   ·异质结器件制备第55页
   ·ZnS 薄膜样品的表征分析第55-57页
     ·ZnS 薄膜样品的 XRD 测试分析第55-56页
     ·ZnS 薄膜样品的表面形貌分析第56-57页
   ·异质结器件的 I—V 特性第57页
   ·本章小结第57-58页
第七章 结论第58-60页
参考文献第60-65页
攻读硕士学位期间所发表的文章第65-67页

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