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PLD制备六方相ZnS/CdS多层异质结构薄膜及其光学性能的研究

目录第1-4页
摘要第4-6页
Abstract第6-9页
第一章 绪论第9-23页
   ·薄膜材料的研究概述第9-10页
   ·ZnS、CdS薄膜的性能及应用第10-11页
   ·ZnS、CdS薄膜的制备方法概述第11-12页
   ·PLD技术在薄膜材料研究中的应用第12-15页
     ·PLD技术原理第12-13页
     ·PLD技术优势第13页
     ·PLD技术薄膜材料研究中的应用第13-15页
   ·半导体异质结构的基本理论及研究进展第15-19页
     ·半导体异质结构的基本理论第15-16页
     ·半导体异质结构的研究进展第16-18页
     ·ZnS/CdS异质结薄膜的研究进展第18-19页
   ·本论文主要研究内容和意义第19-20页
 参考文献第20-23页
第二章 实验仪器及表征测试方法第23-28页
   ·实验仪器第23-25页
     ·ZnS、CdS粉末的制备第23-24页
     ·ZnS、CdS靶材的制备第24页
     ·ZnS/CdS薄膜的制备第24-25页
   ·表征测试方法第25-28页
     ·X射线衍射(XRD)第25-26页
     ·场发射扫描电子显微镜(FESEM)第26页
     ·原子力显微镜(AFM)第26页
     ·X射线能量色散光谱(EDS)第26页
     ·高分辨透射电子显微镜(HRTEM)第26-27页
     ·紫外-可见光-近红外(UV-Vis-NIR)吸收光谱第27页
     ·光致发光谱(PL)第27-28页
第三章 ZnS靶材的制备及性能研究第28-37页
   ·引言第28-29页
   ·实验部分第29页
   ·数据分析第29-35页
     ·结构表征第29-31页
     ·形貌和成分分析第31-32页
     ·相对密度分析第32-33页
     ·光学性能第33-35页
   ·小结第35页
 参考文献第35-37页
第四章 蓝宝石衬底上ZnS薄膜的制备及性能研究第37-43页
   ·引言第37页
   ·实验部分第37-38页
   ·数据分析第38-41页
     ·形貌和结构表征第38-39页
     ·光学性能第39-41页
   ·小结第41页
 参考文献第41-43页
第五章 Si衬底上ZnS薄膜的制备及性能研究第43-54页
   ·引言第43-44页
   ·实验部分第44-45页
   ·数据分析第45-51页
     ·形貌和结构表征第45-49页
     ·光学性能第49-51页
   ·小结第51页
 参考文献第51-54页
第六章 六方相ZnS/CdS多层异质薄膜的制备及其光学性能的研究第54-62页
   ·引言第54-55页
   ·实验部分第55-56页
   ·数据分析第56-60页
     ·形貌和结构表征第56-57页
     ·光学性能第57-60页
   ·小结第60页
 参考文献第60-62页
第七章 工作总结和展望第62-64页
致谢第64-65页
攻读学位期间发表旳论文和申请的专利第65-66页

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