| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·MOS 气敏传感器的工作原理 | 第10-14页 |
| ·光激发气敏传感器的研究现状 | 第14-21页 |
| ·本课题的选题思路及主要工作内容 | 第21-22页 |
| 2 气相光电性能高通量测试的芯片及装置 | 第22-37页 |
| ·装置的意义（大规模筛选光激发气敏传感器） | 第22页 |
| ·装置的结构和功能 | 第22-35页 |
| ·装置的性能及其改进方案 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 TiO_2与 ZnO 在紫外光激激发下的气敏性能的比较性研究 | 第37-51页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·实验部分 | 第38-41页 |
| ·实验结果与分析 | 第41-46页 |
| ·TiO_2与 ZnO 传感器之间差异的机理探讨 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 4 TiO_2的真空退火以及表面修饰 Pt 对气敏性能的影响 | 第51-60页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·实验部分 | 第51-58页 |
| ·实验结果与分析 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 5 全文总结与展望 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69页 |