微波等离子体化学气相沉积系统研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·微波等离子体化学气相沉积方法概述 | 第10-11页 |
| ·微波等离子体化学气相沉积方法的发展 | 第11-14页 |
| ·石英管式MPCVD系统 | 第11-12页 |
| ·石英钟罩式MPCVD系统 | 第12-13页 |
| ·不锈钢谐振腔式MPCVD系统 | 第13页 |
| ·ECR-MPCVD系统 | 第13-14页 |
| ·微波等离子体装置的研究现状 | 第14页 |
| ·课题的研究意义 | 第14-16页 |
| ·本文研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 微波等离子体 | 第17-25页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·微波等离子体 | 第17-23页 |
| ·微波等离子体产生的物理机理 | 第18页 |
| ·微波传输功率与模式场的关系 | 第18-20页 |
| ·电磁波在等离子体中的传播 | 第20-23页 |
| ·微波等离子体的性质 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 谐振腔模拟 | 第25-34页 |
| ·圆柱谐振腔式微波等离子体CVD装置 | 第25-26页 |
| ·谐振腔模拟 | 第26-30页 |
| ·微波反应腔场型设计 | 第26-27页 |
| ·TE_(11)模式的产生与抑制 | 第27-28页 |
| ·圆柱谐振腔微扰分析 | 第28-29页 |
| ·谐振腔建模 | 第29-30页 |
| ·仿真与优化 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 设备的研制及薄膜的表征方法 | 第34-45页 |
| ·MPCVD实验装置 | 第34-41页 |
| ·微波的产生及传输 | 第34-37页 |
| ·微波的产生 | 第34-35页 |
| ·微波的传输 | 第35-37页 |
| ·模式转化器及微波谐振腔 | 第37-38页 |
| ·微波模式转换器 | 第37页 |
| ·微波谐振腔 | 第37-38页 |
| ·真空系统 | 第38-39页 |
| ·水冷及测温系统 | 第39-41页 |
| ·MPCVD装置的工作性能 | 第41-42页 |
| ·微波功率 | 第41-42页 |
| ·反应室压强 | 第42页 |
| ·金刚石膜的表征方法 | 第42-44页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第43页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第43页 |
| ·激光拉曼散射谱仪(Raman) | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 实验及分析 | 第45-52页 |
| ·实验及分析 | 第45-50页 |
| ·基片预处理的影响 | 第45-47页 |
| ·气源成分的影响 | 第47-48页 |
| ·沉积温度的影响 | 第48-50页 |
| ·金刚石薄膜的沉积 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 总结 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第58页 |
