| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-17页 |
| ·振镜的简介 | 第12-14页 |
| ·振镜的结构及工作原理 | 第12-13页 |
| ·振镜的主要性能指标及其意义 | 第13-14页 |
| ·PSD 的研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 位置敏感探测器（PSD）的特性研究 | 第17-26页 |
| ·PSD 的基本原理 | 第17-18页 |
| ·PSD 的类型及其选择依据 | 第18-21页 |
| ·PSD 的非线性区域划分及非线性修正方法 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 PSD 调理电路的设计 | 第26-45页 |
| ·PSD 调理电路的设计 | 第26-35页 |
| ·位置公式的推导及调理电路的设计 | 第26-28页 |
| ·PSD 调理电路的器件和参数选择 | 第28-35页 |
| ·振镜控制信号接口电路设计 | 第35-37页 |
| ·PSD 的性能测试方法 | 第37-44页 |
| ·利用 AD734 电路来进行 PSD 性能参数的测试 | 第38-42页 |
| ·利用 AD538 电路来进行 PSD 性能参数的测试 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 扫描电机性能测试光学平台设计 | 第45-55页 |
| ·总体光路布局 | 第45-48页 |
| ·测量不同参数的三条光路的设计 | 第48-54页 |
| ·光路一的设计 | 第48-50页 |
| ·光路二的设计 | 第50-52页 |
| ·光路三的设计 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 测量误差分析和误差补偿方法 | 第55-69页 |
| ·背景光影响及消除 | 第55-57页 |
| ·激光器选择及其误差分析 | 第57-63页 |
| ·柱面镜特性对不平行度的测试精度影响分析 | 第63页 |
| ·补偿激光器及其模型研究 | 第63-66页 |
| ·实验数据分析及处理 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-70页 |
| ·论文总结 | 第69页 |
| ·课题展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在学期间发表论文和科研成果 | 第74-75页 |
| 附录 部分器件实物图 | 第75-76页 |