基于红外白光干涉技术的MEMS器件形貌测试方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·本论文研究内容的提出 | 第14-16页 |
| 第二章 测试理论和系统设计 | 第16-25页 |
| ·干涉光路分析 | 第16-18页 |
| ·红外干涉形貌测试原理 | 第18-20页 |
| ·垂直扫描技术 | 第18-20页 |
| ·红外透射原理 | 第20页 |
| ·MEMS形貌测试系统设计 | 第20-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 红外白光算法及干涉软件设计研究 | 第25-39页 |
| ·传统白光干涉算法分析 | 第25-27页 |
| ·白光垂直扫描干涉算法（VSI）原理 | 第25-26页 |
| ·移相干涉原理（PSI） | 第26-27页 |
| ·白光干涉算法分析 | 第27-31页 |
| ·VSI和PSI的组合算法原理 | 第27-28页 |
| ·SEST算法原理 | 第28-29页 |
| ·白光干涉光谱测厚原理 | 第29-31页 |
| ·红外白光干涉测试算法研究 | 第31-32页 |
| ·系统软件设计 | 第32-37页 |
| ·算法设计 | 第32-33页 |
| ·界面设计 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 测试方法验证及误差分析 | 第39-63页 |
| ·测试方法验证 | 第39-51页 |
| ·典型微结构设计 | 第40-42页 |
| ·反射干涉测试方法验证 | 第42-45页 |
| ·透射干涉透射补偿测试方法验证 | 第45-50页 |
| ·测试结果对比 | 第50-51页 |
| ·系统性能标定 | 第51-53页 |
| ·系统误差分析 | 第53-62页 |
| ·滤波 | 第53-55页 |
| ·插值 | 第55-57页 |
| ·干涉补偿分析 | 第57-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·全文总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
