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基于原子力显微镜的扫描探针平版印刷术的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-24页
   ·课题背景及研究的目的和意义第8-9页
   ·传统微纳米加工技术第9-11页
   ·扫描探针平版印刷技术第11-17页
     ·机械印刷模式第11-12页
     ·电致印刷模式第12-15页
     ·热致印刷模式第15页
     ·光致印刷模式第15-16页
     ·“蘸水笔”技术第16-17页
   ·传统信息存储技术第17-22页
     ·磁存储技术第18-19页
     ·光存储技术第19-21页
     ·半导体存储技术第21-22页
   ·本论文主要研究内容第22-24页
第2章 程序控制的 AFM 纳米压印技术第24-42页
   ·引言第24页
   ·AFM 工作原理及在不同模式下的纳米加工第24-31页
     ·AFM 工作原理第24-27页
     ·接触模式下AFM 的扫描及纳米刻划原理第27-28页
     ·轻敲模式下AFM 的扫描及纳米压印原理第28-31页
   ·程序控制下的 AFM 针尖自动压印第31-35页
   ·程序控制下的 AFM 自动压印实例第35-41页
     ·AFM 接触模式下的自动压印第35-37页
     ·AFM 轻敲模式下的自动压印第37-41页
   ·本章小结第41-42页
第3章 基于AFM 纳米压印技术的高密度信息存储第42-55页
   ·引言第42-43页
   ·实验部分第43-53页
     ·嵌段共聚物的形态调控第43-48页
     ·AFM 压印下数据的写入第48-51页
     ·AFM 压印后数据的读取第51-53页
   ·本章小结第53-55页
第4章 AFM 探针纳米压印的回复行为研究第55-67页
   ·引言第55页
   ·SEBS 纳米压印的回复过程第55-59页
     ·实验原料第55-56页
     ·实验步骤第56页
     ·压痕回复过程第56-59页
   ·SEBS 纳米压印的回复疲劳测试第59-62页
   ·SEBS 压痕回复的动力学研究第62-66页
   ·本章小结第66-67页
结论第67-68页
参考文献第68-73页
致谢第73页

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