用于长度测量的位移传感器及直线度补偿器
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题研究背景 | 第9-11页 |
| ·位置敏感器件PSD | 第11-18页 |
| ·PSD原理及发展历史 | 第12-13页 |
| ·一维PSD | 第13-15页 |
| ·二维PSD | 第15-16页 |
| ·PSD性能参数 | 第16-18页 |
| ·基于PSD的激光位移传感器及直线度补偿传感器 | 第18-20页 |
| ·论文主要工作 | 第20-21页 |
| 2 激光位移传感器结构设计与分析 | 第21-30页 |
| ·物像位移关系及参数分析 | 第21-25页 |
| ·光学系统 | 第25-26页 |
| ·光源 | 第25-26页 |
| ·像差对系统的影响 | 第26页 |
| ·光能计算 | 第26-27页 |
| ·传感器结构 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 激光位移传感器检测电路 | 第30-39页 |
| ·消除暗电流和杂散光电流的方法 | 第30-31页 |
| ·一维PSD信号处理电路 | 第31-38页 |
| ·I/V转换电路 | 第32-33页 |
| ·放大电路 | 第33-34页 |
| ·A/D转换器 | 第34-35页 |
| ·单片机 | 第35-36页 |
| ·激光器驱动电路 | 第36-37页 |
| ·串口通信电路 | 第37-38页 |
| ·本章小节 | 第38-39页 |
| 4 激光位移传感器控制软件 | 第39-54页 |
| ·单片机控制程序 | 第39-48页 |
| ·程序结构 | 第40-41页 |
| ·数据采集子程序 | 第41-44页 |
| ·数据处理子程序 | 第44-45页 |
| ·数据输出子程序 | 第45-47页 |
| ·中断服务程序 | 第47-48页 |
| ·传感器标定方法 | 第48-50页 |
| ·PC机测试软件 | 第50-53页 |
| ·设定通信方式 | 第50-51页 |
| ·测试软件界面及工作流程 | 第51-53页 |
| ·本章小节 | 第53-54页 |
| 5 传感器标定及测试实验 | 第54-61页 |
| ·测试装置 | 第54页 |
| ·标定 | 第54-55页 |
| ·测量误差及稳定性实验 | 第55-58页 |
| ·不同表面的测量结果的比较 | 第58-59页 |
| ·误差分析 | 第59-60页 |
| ·本章小节 | 第60-61页 |
| 6 直线度补偿器设计 | 第61-73页 |
| ·直线度补偿器的检测电路 | 第61页 |
| ·直线度补偿器控制软件 | 第61-63页 |
| ·单片机控制软件 | 第61-62页 |
| ·PC机测试软件 | 第62-63页 |
| ·测试实验 | 第63-71页 |
| ·测量稳定性实验 | 第64-66页 |
| ·测量结果及误差修正 | 第66-71页 |
| ·误差分析 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
