| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-16页 |
| ·国内外微执行器的发展概况与趋势 | 第9-13页 |
| ·反铁电材料发展历程以及国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·反铁电材料的应用 | 第15-16页 |
| ·本论文的研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 硅基反铁电厚膜微驱动构件实现原理及结构设计 | 第17-34页 |
| ·反铁电材料的基本特征及其在外场下的工作原理 | 第17-20页 |
| ·悬臂梁力学特性工作原理 | 第20-23页 |
| ·悬臂梁结构参数设计 | 第23-25页 |
| ·微悬臂梁结构的有限兀仿真分析 | 第25-32页 |
| ·悬臂梁结构静力学仿真分析 | 第25-27页 |
| ·悬臂梁结构模态仿真分析 | 第27-29页 |
| ·悬臂梁结构谐响应仿真分析 | 第29-30页 |
| ·悬臂梁结构优化设计 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 硅基反铁电厚膜微驱动构件加工制造 | 第34-51页 |
| ·悬臂梁结构的版图设计 | 第34-38页 |
| ·悬臂梁结构加工工艺 | 第38-50页 |
| ·反铁电厚膜(PLZT)刻蚀工艺33 | 第40-43页 |
| ·底电极Pt刻蚀关键工艺 | 第43-44页 |
| ·上电极(Au)溅射关键工艺 | 第44-45页 |
| ·硅基底刻蚀关键工艺 | 第45-47页 |
| ·键合关键工艺 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 硅基反铁电厚膜微驱动构件测试分析 | 第51-58页 |
| ·多普勒激光测振原理 | 第51-54页 |
| ·微悬臂梁结构的静态加压实验 | 第54-56页 |
| ·微悬臂梁结构的频响特性实验 | 第56页 |
| ·本章小节 | 第56-58页 |
| 第五章 结论与展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士期间相关研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |