| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-22页 |
| ·气敏传感器的研究意义和发展状况 | 第7-9页 |
| ·薄膜型传感器的优势和研究意义 | 第9-10页 |
| ·SNO_2 薄膜的制备技术 | 第10-21页 |
| ·课题的提出 | 第21-22页 |
| 2 溶胶－凝胶法（SOL-GEL）制备SNO_2 薄膜的工艺研究 | 第22-34页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第22-25页 |
| ·薄膜形成过程的讨论 | 第25-26页 |
| ·工艺参数的讨论 | 第26-34页 |
| 3 SNO_2 薄膜的掺杂 | 第34-43页 |
| ·半导化元素的选择 | 第34-36页 |
| ·SB 掺杂量的确定 | 第36-38页 |
| ·SNO_2:SB 薄膜的阻温特性 | 第38-40页 |
| ·气敏性元素的选择 | 第40-41页 |
| ·掺杂工艺 | 第41-42页 |
| ·CU 掺杂量的确定 | 第42-43页 |
| 4 SNO_2:SB:CU 薄膜的气敏特性 | 第43-51页 |
| ·H25 简介 | 第43-44页 |
| ·气敏测试系统简介 | 第44-46页 |
| ·SNO_2:SB:CU 薄膜的XRD 和SEM 分析 | 第46-47页 |
| ·SNO_2:SB:CU 薄膜的气敏特性 | 第47-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第59页 |