基于扫描白光干涉法的接触式轮廓测量仪
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·选题意义及背景 | 第9-10页 |
| ·表面计量技术发展概况 | 第10-12页 |
| ·显微干涉测量仪的发展 | 第12-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 仪器总体方案设计 | 第16-27页 |
| ·仪器整体结构方案设计 | 第16-17页 |
| ·仪器测量过程介绍 | 第17-18页 |
| ·仪器的测量原理 | 第18-20页 |
| ·理论分辨率的计算 | 第20-21页 |
| ·仪器主要组成部分的原理及功能简介 | 第21-25页 |
| ·应用软件 | 第25页 |
| ·仪器性能指标 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 触针式传感器的设计 | 第27-39页 |
| ·传感器各部件功能介绍 | 第27页 |
| ·传感器主要部件结构设计 | 第27-31页 |
| ·传感器对测量精度的影响 | 第31-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 程序设计 | 第39-46页 |
| ·软件界面介绍 | 第39-40页 |
| ·软件功能模块介绍 | 第40-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 干涉条纹间距的变化对测量精度影响的研究 | 第46-52页 |
| ·干涉仪光学系统分析 | 第46-47页 |
| ·干涉条纹间距变化分析 | 第47-50页 |
| ·条纹间距变化对测量精度影响的补偿 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 6 曲线拟合和高斯滤波的数学模型 | 第52-70页 |
| ·最小二乘圆拟合 | 第52-53页 |
| ·最小二乘椭圆拟合 | 第53-54页 |
| ·最小二乘抛物线拟合 | 第54-55页 |
| ·最小二乘多项式拟合 | 第55-57页 |
| ·基于正交多项式的曲线拟合 | 第57-61页 |
| ·高斯滤波 | 第61-65页 |
| ·测量实例 | 第65-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 7 仪器精度性能指标的评价实验 | 第70-74页 |
| ·触针的几何尺寸 | 第70-71页 |
| ·虚假信号 | 第71-72页 |
| ·相对示值误差 | 第72-73页 |
| ·示值重复性 | 第73页 |
| ·示值稳定性 | 第73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 8 全文总结和展望 | 第74-75页 |
| ·工作总结 | 第74页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第79-80页 |
| 附录2 触针实物与被测工件实物图 | 第80-81页 |
