回形梁变电容式二维加速度传感器
| 提要 | 第1-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-12页 |
| ·国内外发展动态 | 第8-10页 |
| ·本论文研究内容 | 第10-12页 |
| 第二章 MEMS基础理论 | 第12-20页 |
| ·MEMS介绍 | 第12-13页 |
| ·MEMS基础理论概述 | 第13-20页 |
| ·尺寸效应 | 第14页 |
| ·微机械常用材料 | 第14-16页 |
| ·微构造的机械特性 | 第16-17页 |
| ·微构造的振动特性 | 第17-20页 |
| 第三章 加速度计的设计理论及模型 | 第20-34页 |
| ·加速度计的设计理论 | 第20-27页 |
| ·常见加速度传感器设计模型 | 第27-34页 |
| ·固态压阻式加速度传感器 | 第28-29页 |
| ·压电式加速度计 | 第29-30页 |
| ·谐振式加速度传感器 | 第30-31页 |
| ·电容式微加速度传感器 | 第31-34页 |
| 第四章 敏感单元的设计 | 第34-41页 |
| ·概述 | 第34页 |
| ·结构设计及分析 | 第34-36页 |
| ·弹性设计 | 第36-37页 |
| ·电容检测 | 第37-38页 |
| ·空气阻尼 | 第38-41页 |
| ·压膜空气阻尼 | 第38-39页 |
| ·滑膜阻尼 | 第39-41页 |
| 第五章 ANSYS结构动力学分析 | 第41-53页 |
| ·ANSYS结构动力学分析 | 第41-44页 |
| ·结构动力学分析概述 | 第41-43页 |
| ·模态分析基本概念 | 第43-44页 |
| ·谐响应分析基本概念 | 第44页 |
| ·ANSYS仿真 | 第44-53页 |
| ·ANSYS 11.0 介绍 | 第44-47页 |
| ·利用ANSYS进行模态分析和谐响应分析 | 第47-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 摘要 | 第56-59页 |
| Abstract | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
