MEMS压阻式微接触测头测试校准系统的研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·微/纳米坐标测量技术 | 第7-8页 |
| ·纳米测量机测头概述 | 第8-16页 |
| ·本文的意义及主要工作 | 第16-17页 |
| 第二章 MEMS 压阻式测头设计 | 第17-32页 |
| ·结构设计 | 第17-20页 |
| ·压阻检测原理 | 第20-23页 |
| ·硅的压阻效应 | 第20-21页 |
| ·压阻系数计算 | 第21-23页 |
| ·压阻设计 | 第23-28页 |
| ·排布位置 | 第23-24页 |
| ·连接方式 | 第24-26页 |
| ·阻值设计 | 第26-27页 |
| ·电阻条尺寸设计 | 第27-28页 |
| ·测头的装配 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 测试校准系统设计及硬件实现 | 第32-51页 |
| ·测试校准系统总体设计 | 第32-33页 |
| ·纳米测量和定位机系统（NMM） | 第33-39页 |
| ·测量原理和结构 | 第33-36页 |
| ·电气单元 | 第36-38页 |
| ·测头安装结构 | 第38-39页 |
| ·数据采集电路设计 | 第39-50页 |
| ·采集电路核心 | 第40-43页 |
| ·信号调理电路 | 第43-45页 |
| ·A/D 转换器 | 第45-47页 |
| ·显示和传输 | 第47-49页 |
| ·扩展存储 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 测试校准系统软件设计及实现 | 第51-64页 |
| ·NMM 测量控制软件 | 第51-53页 |
| ·单片机软件 | 第53-57页 |
| ·上位机软件 | 第57-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 实验及结果分析 | 第64-73页 |
| ·压阻值测试 | 第64-66页 |
| ·测头性能标定 | 第66-71页 |
| ·线性和量程 | 第66-69页 |
| ·滞后性和精度 | 第69-70页 |
| ·耦合输出 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
