用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| ·类金刚石薄膜的研究历史及现状 | 第9-10页 |
| ·课题的研究内容 | 第10-12页 |
| 第二章 类金刚石薄膜概述 | 第12-22页 |
| ·类金刚石薄膜的结构 | 第12-14页 |
| ·类金刚石薄膜的性能及应用 | 第14-17页 |
| ·光学性能及应用 | 第15页 |
| ·化学性能及应用 | 第15页 |
| ·机械性能及应用 | 第15-16页 |
| ·电学性能及应用 | 第16-17页 |
| ·其他性能及应用 | 第17页 |
| ·薄膜的主要制备方法 | 第17-20页 |
| ·物理气相沉积（PVD）法 | 第18-19页 |
| ·化学气相沉积（CVD）法 | 第19-20页 |
| ·DLC 薄膜存在的问题和解决方法 | 第20-22页 |
| 第三章 类金刚石薄膜的制备工艺 | 第22-30页 |
| ·PECVD 法的基本原理 | 第22-24页 |
| ·沉积设备及操作 | 第24-25页 |
| ·工艺参数的选择 | 第25-26页 |
| ·类金刚石薄膜的制备 | 第26-29页 |
| ·基片的清洗 | 第26-28页 |
| ·类金刚石薄膜制备 | 第28-29页 |
| ·本章总结 | 第29-30页 |
| 第四章 类金刚石薄膜性能的测试 | 第30-59页 |
| ·薄膜的厚度测量与分析 | 第30-32页 |
| ·DLC 薄膜表面形貌的分析 | 第32-34页 |
| ·薄膜结构的分析 | 第34-45页 |
| ·拉曼（Raman）光谱分析 | 第34-43页 |
| ·X 射线衍射仪分析 | 第43-45页 |
| ·薄膜的阻隔性分析 | 第45-51页 |
| ·孔隙率 | 第45-48页 |
| ·水汽渗透率 | 第48-51页 |
| ·薄膜的附着性评价 | 第51页 |
| ·光透过率分析 | 第51-57页 |
| ·紫外透过率 | 第53-54页 |
| ·可见光透过率 | 第54-56页 |
| ·红外透过率 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 结果分析及展望 | 第59-62页 |
| ·结果分析 | 第59-61页 |
| ·沉积时间对DLC 膜性能的影响 | 第59页 |
| ·功率对DLC 膜性能的影响 | 第59页 |
| ·反应气压对DLC 膜性能的影响 | 第59-60页 |
| ·极板间距对DLC 膜性能的影响 | 第60页 |
| ·混合气体比例对DLC 膜性能的影响 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第68-69页 |
