| 学位论文独创性声明 | 第1页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第2-3页 |
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| 1. 研究充压法氦质谱捡漏分子流公式的意义 | 第7页 |
| 2. 本课题的国内外研究动态 | 第7-9页 |
| 第二章 氦质谱检漏的基础知识 | 第9-28页 |
| 1 有关氦质谱仪的基本知识 | 第9-13页 |
| ·质谱仪的发展概况 | 第9-10页 |
| ·氦质谱检漏的工作原理 | 第10-11页 |
| ·氦质谱仪的反应时间和灵敏度 | 第11-13页 |
| 2 充压法氦质谱检漏 | 第13-20页 |
| ·充压法氦质谱检漏概述 | 第13-14页 |
| ·充压法氦检漏公式的推导 | 第14-19页 |
| ·检漏公式的简化 | 第19-20页 |
| 3 充压法氦质谱检漏中儿个参数的选择原则 | 第20-28页 |
| ·“最大等候时间”t_(2max) 的确定 | 第20-23页 |
| ·P_E , t_1 的选择原则 | 第23-27页 |
| ·试品有效内腔体积 V 的测定 | 第27-28页 |
| 第三章 充压法检漏的基本工艺及仪器 | 第28-42页 |
| 1 充压法检漏的基本工艺 | 第28-33页 |
| 2 用于充压法检漏的氦质谱捡漏仪及外接真空系统 | 第33-39页 |
| ·用于充压法检漏的氦质谱仪 | 第33-36页 |
| ·氦质谱仪与外接检漏系统的结合体—充压法氦检工作台 | 第36-37页 |
| ·检漏试品箱或钟罩 | 第37-38页 |
| ·试品的充压装置—压力箱 | 第38-39页 |
| 3 薄膜渗透型标准漏孔的性能及应用 | 第39-42页 |
| 第四章 充压法氦质谱检漏的器件漏率双值求解和粗细检漏的可靠衔接 | 第42-59页 |
| 1. 充压法氦质谱检漏的漏率双值特性 | 第42-47页 |
| ·检漏公式的归一化 | 第42-43页 |
| ·检漏公式双值特性的证明 | 第43-44页 |
| ·漏率双值的意义 | 第44-47页 |
| 2. 漏率双值的编程求解 | 第47-49页 |
| ·编程的目标 | 第47-48页 |
| ·采用的求解算法 | 第48-49页 |
| 3. 器件漏率双值的查表求解 | 第49-52页 |
| 4. 密封性筛选中粗、细检漏的可靠衔接 | 第52-59页 |
| 第五章 需要进一步讨论的问题及结论与创新 | 第59-63页 |
| 1 需要进一步讨论的问题 | 第59-61页 |
| 2 结论总结 | 第61-62页 |
| 3 研究成果及创新 | 第62-63页 |
| 附录 1. u=ze~(-z) 表 | 第63-68页 |
| 附录 2 充压法氦检的漏率双值求解软件使用说明 | 第68-76页 |
| 参考文献 | 第76-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 中文详细摘要 | 第79-81页 |