光波导应力双折射研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·集成光学发展状况 | 第9-11页 |
| ·集成光学相关工艺 | 第11-12页 |
| ·光波导的双折射 | 第12-15页 |
| ·本论文主要内容 | 第15页 |
| 参考文献 | 第15-18页 |
| 第二章 弹性力学基本理论 | 第18-25页 |
| ·基本概念 | 第18页 |
| ·热弹性力学的基本方程 | 第18-20页 |
| ·虚功原理和最小势能原理 | 第20-22页 |
| ·光弹效应 | 第22-24页 |
| 参考文献 | 第24-25页 |
| 第三章 各向异性介质波导的本征场求解 | 第25-43页 |
| ·各向异性介质波导中的半矢量波动方程 | 第25-27页 |
| ·非均匀有限差分方法 | 第27-32页 |
| ·差分格式推导 | 第27-29页 |
| ·网格形式和对称边界条件 | 第29-32页 |
| ·有限元方法解波导本征值问题 | 第32-36页 |
| ·一般二阶微分方程边值问题的有限元方法 | 第32页 |
| ·区域离散和单元插值 | 第32-33页 |
| ·单元方程推导和方程组的组合 | 第33-35页 |
| ·狄利克雷边界条件的强加 | 第35页 |
| ·波导本征值问题的有限元求解 | 第35-36页 |
| ·完美匹配层边界条件 | 第36-39页 |
| ·计算实例 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-43页 |
| 第四章 硅基二氧化硅波导应力双折射分析 | 第43-64页 |
| ·光波导结构 | 第43-44页 |
| ·普通平面应变模型 | 第44-46页 |
| ·标准平面应变模型 | 第46-50页 |
| ·子模型技术 | 第50-52页 |
| ·光弹效应引起的模式折射率变化 | 第52-54页 |
| ·波导几何参数对应力双折射的影响 | 第54-55页 |
| ·波导间距对应力双折射的影响 | 第55-57页 |
| ·调整上包层热膨胀系数消除双折射 | 第57-59页 |
| ·应力释放槽减小双折射 | 第59-61页 |
| 本章小节 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第五章 SOI光波导应力双折射分析 | 第64-73页 |
| ·SOI光波导的结构及其双折射 | 第64-66页 |
| ·SOI光波导中的应力双折射 | 第66-68页 |
| ·SOI光波导应力双折射与结构参数的关系 | 第68-71页 |
| 本章小节 | 第71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 第六章 硅纳米波导应力双折射分析 | 第73-82页 |
| ·硅纳米波导的偏振特性 | 第73-75页 |
| ·硅纳米波导中的应力双折射 | 第75-76页 |
| ·应力双折射与结构参数的关系 | 第76-79页 |
| ·芯层尺寸对应力双折射的影响 | 第76-77页 |
| ·包层厚度对应力双折射的影响 | 第77-79页 |
| 本章小结 | 第79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 第七章 偏振相关性的简单检测 | 第82-87页 |
| ·检测装置和设备 | 第82-84页 |
| ·AWG中心波长漂移的检测 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-87页 |
| 第八章 总结 | 第87-90页 |
| 攻读硕士学位期间完成的论文 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
