聚合物阵列波导光栅的设计与工艺实验
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·概述 | 第8-9页 |
| ·AWG 的应用 | 第9-11页 |
| ·国内外最新进展 | 第11-14页 |
| ·课题意义及目的 | 第14页 |
| ·小结 | 第14-15页 |
| 2 AWG 工作原理及结构设计 | 第15-25页 |
| ·AWG 结构 | 第15页 |
| ·AWG 解复用的工作原理 | 第15-20页 |
| ·实用化AWG 复用器的性能要求 | 第20-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 聚合物阵列波导光栅的设计 | 第25-41页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·AWG 器件的结构设计 | 第25-37页 |
| ·AWG 器件版图设计 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 平顶型AWG 的设计与分析 | 第41-51页 |
| ·制作平顶型AWG 的方法概述 | 第41-43页 |
| ·抛物线型过渡器AWG 的原理 | 第43-46页 |
| ·抛物线型过渡器AWG 数值计算与设计 | 第46-49页 |
| ·用BPM 对抛物线型过渡器AWG 的模拟结果 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 聚合物AWG 关键工艺实验 | 第51-69页 |
| ·聚酰亚胺薄膜的制备 | 第51-54页 |
| ·金属掩膜磁控溅射 | 第54-56页 |
| ·湿法光刻:微图形制作 | 第56-62页 |
| ·电感耦合等离子(ICP)刻蚀 | 第62-66页 |
| ·聚合物平面波导后续工序与通光测试平台 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 6 全文总结 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第77页 |
