| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪言 | 第9-11页 |
| ·MEMS 的概念 | 第9页 |
| ·MEMS 研究应用分类 | 第9-10页 |
| ·本课题研究的意义及论文纲要 | 第10-11页 |
| 第二章 微机械薄膜热膨胀系数测试结构的进展 | 第11-25页 |
| ·薄膜热膨胀理论基础 | 第11-12页 |
| ·薄膜热膨胀系数测试结构 | 第12-21页 |
| ·双层薄膜梁结构 | 第12-14页 |
| ·薄膜翘曲结构 | 第14-15页 |
| ·T 形结构 | 第15-17页 |
| ·不等宽梁结构（Guckel 热执行器式结构） | 第17-20页 |
| ·基于弯梁的差分电容式结构 | 第20-21页 |
| ·结构性能指标比较 | 第21页 |
| ·游标尺读数系统简介 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 在线检测结构及其模型的建立 | 第25-42页 |
| ·薄膜热膨胀系数在线检测结构的工作原理 | 第25-27页 |
| ·单弯梁结构的工作原理 | 第25-27页 |
| ·级联弯梁结构的工作原理 | 第27页 |
| ·结构建模基础 | 第27-33页 |
| ·结构建模方法 | 第27页 |
| ·传热学基础 | 第27-31页 |
| ·传热学的研究对象和基本概念 | 第27-28页 |
| ·热量传递的三种基本方式 | 第28-31页 |
| ·结构力学基础[15] | 第31-33页 |
| ·结构力学的研究对象和基本概念 | 第31页 |
| ·结构力学超静定力系求解方法 | 第31-33页 |
| ·结构理论模型 | 第33-39页 |
| ·热学模型 | 第33-37页 |
| ·单弯梁结构的热学模型 | 第34-35页 |
| ·级联弯梁结构的热学模型 | 第35-37页 |
| ·力学模型 | 第37-39页 |
| ·单弯梁测试结构的力学模型 | 第37-38页 |
| ·级联弯梁测试结构的力学模型 | 第38-39页 |
| ·参数提取 | 第39-41页 |
| ·η、ρ0、ξ的提取 | 第39-40页 |
| ·单弯梁结构热膨胀系数α的提取 | 第40页 |
| ·级联弯梁结构热膨胀系数α的提取 | 第40-41页 |
| ·本章小节 | 第41-42页 |
| 第四章 在线检测结构性能分析及参数优化 | 第42-61页 |
| ·有限元模拟法 | 第42-44页 |
| ·有限元单元法 | 第42页 |
| ·ANSYS~(TM) 软件 | 第42-43页 |
| ·ANSYS 单元选取 | 第43页 |
| ·ANSYS 单位制 | 第43-44页 |
| ·解析公式验证 | 第44-48页 |
| ·ANSYS 模拟验证 | 第44-47页 |
| ·单弯梁结构ANSYS 模拟验证 | 第45-46页 |
| ·级联弯梁结构ANSYS 模拟验证 | 第46-47页 |
| ·实验数据验证 | 第47-48页 |
| ·性能分析与参数优化 | 第48-56页 |
| ·单弯梁结构性能分析 | 第48-51页 |
| ·角度（θ）的影响 | 第48-50页 |
| ·梁长（L）的影响 | 第50页 |
| ·梁宽度（w）、厚度（h）的影响 | 第50-51页 |
| ·级联弯梁结构性能分析 | 第51-56页 |
| ·角度（θ）的影响 | 第51-52页 |
| ·角度（γ）的影响 | 第52-53页 |
| ·角度（? ）的影响 | 第53-54页 |
| ·副弯梁单元梁长（L_1）的影响 | 第54-55页 |
| ·主弯梁单元梁长（L_2）的影响 | 第55页 |
| ·梁宽度（w）和厚度（h）的影响 | 第55-56页 |
| ·单弯梁结构与级联弯梁结构性能比较 | 第56-59页 |
| ·梁顶端位移 | 第56-57页 |
| ·加热效率 | 第57-58页 |
| ·相对误差 | 第58页 |
| ·系统响应速度 | 第58页 |
| ·等效弹性系数 | 第58-59页 |
| ·误差分析 | 第59-60页 |
| ·误差源 | 第59-60页 |
| ·相对误差计算公式 | 第60页 |
| ·本章小节 | 第60-61页 |
| 第五章 工艺过程与版图设计 | 第61-66页 |
| ·工艺选择 | 第61页 |
| ·测试结构工艺流程 | 第61-64页 |
| ·版图设计 | 第64-65页 |
| ·本章小节 | 第65-66页 |
| 第六章 结束语 | 第66-68页 |
| ·总结 | 第66-67页 |
| ·对后续工作的建议 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 图表索引 | 第72-75页 |
| 附录A MKS 单位制与uMKSV 单位的转换表 | 第75-76页 |
| 附录B 单弯梁结构梁顶端位移MATLAB 计算程序 | 第76-77页 |
| 附录C 级联弯梁结构梁顶端位移MATLAB 计算程序 | 第77-83页 |
| 硕士期间发表论文目录 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |