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数字全息技术在微结构形貌测试中的应用研究

第一章 绪论第1-14页
   ·数字全息技术及其发展现状第8-10页
     ·数字全息的概念及基本特点第8页
     ·数字全息技术的国内外发展现状第8-10页
   ·数字全息技术用于三维形貌测量的意义及发展现状第10-13页
     ·微表面三维形貌测量的意义及各种检测方法第10-11页
     ·数字全息技术在微表面三维形貌测量方面的研究发展现状第11-13页
   ·本论文的意义及主要工作第13-14页
第二章 离轴菲涅尔数字全息用于微形貌分析的研究第14-32页
   ·离轴菲涅尔数字全息用于形貌测量的基本理论第14-22页
     ·物体表面坐标与相位分布的对应关系第14-15页
     ·离轴菲涅尔数字全息的记录和再现第15-18页
       ·全息记录的物理过程描述第16-17页
       ·数字全息的再现第17-18页
     ·相位去包裹算法的原理及数学模型第18-22页
   ·再现光载频系数的调整第22-28页
     ·再现光载频系数的调整的理论依据第22-23页
     ·再现光载频系数调整的模拟实验第23-28页
   ·再现距离的确定第28-31页
     ·自聚焦算法的原理第28-29页
     ·自聚焦算法的计算机模拟第29-31页
   ·本章小结第31-32页
第三章 基于4f系统的数字全息形貌分析研究第32-39页
   ·4f系统的几何成像特性第34-35页
   ·基于4f系统的数字全息的记录及再现的数学描述第35-37页
   ·再现像的分辨率第37页
   ·本章小结第37-39页
第四章 数字全息在形貌分析中的实验研究第39-53页
   ·基于4f系统的离轴菲涅尔数字全息用于三维形貌分析的实验第40-45页
     ·实验光路系统第40-41页
     ·实验结果及分析第41-45页
   ·离轴菲涅尔数字全息用于三维形貌分析的实验第45-52页
     ·实验光路系统第45-46页
     ·实验结果及分析第46-52页
   ·本章小结第52-53页
第五章 全文总结与展望第53-54页
参考文献第54-57页
发表论文和科研情况说明第57-58页
致谢第58页

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