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移相干涉仪自适应抗振技术研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-7页
目录第7-12页
1.绪论第12-23页
     ·研究背景第12-14页
     ·环境振动对移相干涉测量的影响第14-15页
     ·移相干涉仪抗振技术发展现状第15-21页
       ·软件技术:对振动不敏感的移相算法第15页
       ·硬件技术:几种典型的抗振型移相干涉仪第15-21页
     ·论文的主要工作和内容安排第21-23页
2.移相干涉仪自适应抗振原理第23-46页
     ·移相干涉仪的工作原理第23-27页
       ·移相干涉术第23-26页
       ·移相干涉仪的基本结构第26-27页
     ·干涉仪自适应抗振系统构成第27-28页
       ·抗振系统自适应原则第27页
       ·抗振系统总体功能框架第27-28页
     ·振动的分析与测量第28-36页
       ·振动的功率谱密度第28-31页
       ·振动测量方法介绍第31-32页
       ·激光外差法测振第32-36页
     ·自适应振动控制的数学原理第36-45页
       ·控制执行机构的动力学模型第36-41页
       ·自适应振动控制的数学过程第41-45页
     ·本章小结第45-46页
3.移相干涉仪自适应抗振实验系统设计第46-74页
     ·总体实验装置第46-47页
     ·激光外差测振系统第47-55页
       ·声光调制器第47-48页
       ·外差信号的光电探测第48-53页
       ·基于单片集成芯片的比相测量第53-55页
     ·自适应振动控制系统第55-68页
       ·振动控制的执行部件第55-58页
       ·基于高速DSP芯片的振动控制器第58-63页
       ·自适应算法流程及其在DSP中的实现第63-68页
     ·振动受控的移相干涉测量第68-72页
       ·抗振时的移相:象限区分反馈法第69-70页
       ·抗振与移相的闭环控制过程第70-72页
     ·本章小结第72-74页
4.实验系统模块测试第74-92页
     ·光源第74页
     ·预压式PZT移相器第74-85页
       ·电压-位移特性第74-77页
       ·机械响应特性第77-79页
       ·移相器驱动电源第79-80页
       ·类进动现象第80-85页
     ·激光外差探测第85-87页
     ·振动测量第87-90页
       ·人工振源第87-88页
       ·自然环境振动第88-90页
       ·振动相位测量误差第90页
     ·本章小结第90-92页
5.自适应抗振与移相干涉测量第92-106页
     ·自适应振动控制过程第92-97页
       ·相位锁定过程第92-96页
       ·不同相位的锁定第96-97页
     ·移相采样与波面测量第97-101页
       ·移相过程第97页
       ·数字波面检测第97-101页
     ·误差分析第101-105页
       ·稳态失调和控制速度第101-102页
       ·稳态误差(锁相误差)第102-103页
       ·量化误差与电路噪声第103-105页
     ·本章小结第105-106页
6.全文总结第106-111页
     ·本文所做的工作及创新点第106-108页
     ·有待解决的问题第108页
     ·本课题组的在研方案第108-110页
     ·博士在读期间论文发表与科研情况第110-111页
       ·论文发表第110页
       ·科研及获奖第110-111页
参考文献第111-116页
附录一第116-117页
附录二第117-122页
致谢第122页

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