全解耦式微机械陀螺仪的研究与设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| ·选题背景 | 第11-12页 |
| ·微机电系统概述 | 第11-12页 |
| ·微型传感器与微陀螺仪技术概述 | 第12页 |
| ·微机械陀螺技术的发展概况 | 第12-18页 |
| ·微机械陀螺的分类 | 第13页 |
| ·微机械陀螺的国内外研究现状 | 第13-18页 |
| ·微机械陀螺存在的问题 | 第18页 |
| ·课题研究的意义及主要内容 | 第18-20页 |
| ·课题意义 | 第18-19页 |
| ·课题主要内容 | 第19-20页 |
| 第2章 全解耦微机械陀螺的理论基础与结构设计 | 第20-40页 |
| ·微机械陀螺理论基础 | 第20-22页 |
| ·科氏(Coriolis)效应 | 第20-21页 |
| ·微机械设计基础 | 第21-22页 |
| ·现有微机械陀螺误差理论分析 | 第22-28页 |
| ·未解耦与半解耦微机械陀螺模型 | 第23-24页 |
| ·误差因素分析 | 第24-28页 |
| ·全解耦式微机械陀螺的结构设计 | 第28-39页 |
| ·解耦式微机械陀螺工作原理 | 第30页 |
| ·微机械陀螺中的阻尼模型 | 第30-35页 |
| ·微陀螺仪驱动方式 | 第35-37页 |
| ·微陀螺仪检测方式 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 全解耦式微机械陀螺仪的建模与静态分析 | 第40-61页 |
| ·微机械陀螺结构的尺寸参数 | 第40-48页 |
| ·微陀螺仪支撑梁模型及弹性形变常数计算 | 第40-47页 |
| ·微陀螺仪三维模型的建立 | 第47-48页 |
| ·微陀螺仪简化模型 | 第48-54页 |
| ·微机械陀螺的力学模型 | 第48-51页 |
| ·微机械陀螺的数学分析 | 第51-54页 |
| ·微机械陀螺静态条件下的静力学分析 | 第54-57页 |
| ·微机械陀螺的有限元模型 | 第54-55页 |
| ·微陀螺阵子的静力学校核 | 第55-57页 |
| ·微机械陀螺的静态抗过载与解耦合性能分析 | 第57-60页 |
| ·驱动方向抗过载分析 | 第57-58页 |
| ·检测方向抗过载分析 | 第58-59页 |
| ·微机械陀螺的静态解耦合性能分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第4章 微机械陀螺仪的动态性能分析与仿真 | 第61-87页 |
| ·微机械陀螺仪参数分析与计算 | 第61-67页 |
| ·动力学参数分析 | 第61-63页 |
| ·驱动模态参数计算 | 第63-65页 |
| ·检测模态参数计算 | 第65-67页 |
| ·微机械陀螺仪的模态匹配设计 | 第67-76页 |
| ·定义弹性梁的变量尺寸 | 第67-68页 |
| ·微机械陀螺模态匹配过程 | 第68-74页 |
| ·模态计算与仿真 | 第74-76页 |
| ·微机械陀螺仪的谐响应分析 | 第76-82页 |
| ·驱动模态的谐响应分析 | 第76-78页 |
| ·检测模态的谐响应分析 | 第78-82页 |
| ·微机械陀螺仪性能分析 | 第82-86页 |
| ·微陀螺检测电路 | 第82-83页 |
| ·轴向加速度干扰分析 | 第83-84页 |
| ·输出灵敏度分析 | 第84-85页 |
| ·微机械陀螺仪性能参数对比分析 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 结论 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-91页 |
| 攻读硕士期间承担的科研任务与主要成果 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 作者简介 | 第93页 |
