利用rf-PECVD方法在不同基底上制备DLC膜的实验研究

中文摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-12页
第1章 绪论	第12-33页
·类金刚石薄膜的结构	第12-13页
·类金刚石膜的性质及应用	第13-19页
·类金刚石膜性能	第14-15页
·类金刚石膜的应用	第15-19页
·常用制备方法	第19-23页
·物理气相沉积	第19-22页
·化学气相沉积	第22-23页
·相关研究进展	第23-28页
·不锈钢上沉积DLC薄膜的研究进展	第23-25页
·模具钢上沉积a-C:H(N)薄膜的研究进展	第25-26页
·树脂材料上沉积DLC薄膜的研究进展	第26-28页
·本课题的研究内容	第28页
参考文献	第28-33页
第2章 不锈钢基体沉积类金刚石薄膜研究	第33-57页
·概述	第33页
·类金刚石膜的制备	第33-37页
·制备设备简介	第33-34页
·过渡层的制备	第34-35页
·镀膜前基材样品的预处理	第34-35页
·过渡层的制备工艺	第35页
·DLC制备工艺	第35-37页
·类金刚石碳膜的表征	第37-44页
·结构分析	第37-42页
·沉积膜的拉曼光谱	第37-38页
·样品拉曼光谱结果与讨论	第38-40页
·X射线光电子能谱	第40-41页
·傅立叶变换红外透射光谱分析	第41-42页
·类金刚石薄膜的表面形貌分析	第42-44页
·DLC膜的机械性能及摩擦学特性	第44-53页
·硬度分析	第44-46页
·摩擦和磨损结果分析	第46-53页
·摩擦系数分析	第46-53页
·磨损结果分析	第53页
·结合力分析	第53-54页
·耐腐蚀性能测试	第54页
·本章小结	第54-55页
参考文献	第55-57页
第3章 模具钢表面类金刚石碳膜的制备研究	第57-76页
·概述	第57页
·模具钢Cr12表面类金刚石碳膜的制备	第57-59页
·基底预处理	第57页
·过渡层的制备	第57-58页
·DLC膜的制备	第58-59页
·DLC膜结构特征分析	第59-69页
·沉积膜的拉曼光谱	第59-60页
·X射线衍射谱	第60-61页
·X射线光电子能谱	第61-69页
·DLC膜性能分析	第69-74页
·纳米硬度分析	第69-71页
·摩擦磨损分析	第71-74页
·DLC膜摩擦系数测定	第71-72页
·不同掺氮量对DLC膜摩擦系数的影响	第72-74页
·本章小结	第74页
参考文献	第74-76页
第4章 在树脂材料表面沉积类金刚石碳膜研究	第76-102页
·概述	第76页
·在PMMA树脂材料上沉积类金刚石薄膜	第76-79页
·基体预处理	第76-77页
·过渡层的制备	第77页
·DLC的制备	第77-79页
·类金刚石碳膜的结构与表征	第79-89页
·DLC拉曼光谱	第79-86页
·X射线光电子能谱分析	第86-89页
·硬度分析	第89-92页
·铅笔硬度表征	第89页
·纳米压痕仪硬度分析	第89-92页
·光学特性	第92-95页
·透过率的测定	第92页
·自偏压对透过率的影响	第92-93页
·过渡层入射功率的变化对透过率的影响	第93-95页
·摩擦磨损性能	第95-98页
·摩擦系数分析	第95-96页
·制备过渡层时不同入射功率对摩擦系数的影响	第96-98页
·耐候性实验	第98-99页
·稳定性测试	第99页
·本章小结	第99-100页
参考文献	第100-102页
第5章 结论	第102-104页
·论文结论	第102-103页
·下一步可开展的工作	第103-104页
致谢	第104-105页
个人简历	第105-106页
博士期间发表论文情况	第106-107页