| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 文献综述 | 第8-16页 |
| ·高温超导材料的应用 | 第8页 |
| ·高温超导电子器件的发展现状 | 第8-10页 |
| ·YBCO超导薄膜的微细图形化技术 | 第10-13页 |
| ·刻蚀工艺 | 第10-12页 |
| ·改性工艺 | 第12页 |
| ·耐熔微掩模制备工艺 | 第12-13页 |
| ·溶胶-凝胶与化学修饰相结合的薄膜微细加工工艺 | 第13-14页 |
| ·论文的研究目的和意义 | 第14-15页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 2 实验方法 | 第16-20页 |
| ·实验方案 | 第16页 |
| ·主要实验设备及方法 | 第16-18页 |
| ·凝胶膜制备设备 | 第16-17页 |
| ·薄膜图形化设备 | 第17-18页 |
| ·性能分析仪器 | 第18页 |
| ·实验试剂 | 第18-20页 |
| 3 YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的微细图形化研究 | 第20-32页 |
| ·YBCO/AA系溶胶及凝胶膜的制备 | 第20-22页 |
| ·YBCO/AA溶胶及凝胶膜的制备 | 第20-21页 |
| ·YBCO/AA/BzAcH溶胶及凝胶膜的制备 | 第21-22页 |
| ·薄膜的微细图形化加工 | 第22-27页 |
| ·凝胶膜感光性研究 | 第22-24页 |
| ·微细加工 | 第24-26页 |
| ·热处理 | 第26-27页 |
| ·薄膜图形的性能分析 | 第27-29页 |
| ·表面轮廓测量 | 第27页 |
| ·XRD分析 | 第27-28页 |
| ·SEM分析 | 第28-29页 |
| ·T_c测试 | 第29页 |
| ·小结 | 第29-32页 |
| 4 YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的J_C测试研究 | 第32-48页 |
| ·超导J_C的基本测量方法 | 第32-33页 |
| ·四引线法 | 第32页 |
| ·电感磁测量法 | 第32-33页 |
| ·两种测量方法的比较 | 第33页 |
| ·YBCO超导薄膜J_C测试方案设计 | 第33-44页 |
| ·超导T_c测试系统 | 第34-39页 |
| ·I-V曲线测试装置的设计与组装 | 第39-40页 |
| ·待测样品的设计 | 第40-41页 |
| ·测试步骤 | 第41-44页 |
| ·测量结果分析 | 第44-45页 |
| ·I-V曲线 | 第44页 |
| ·横截面积S的测定 | 第44-45页 |
| ·J_c值 | 第45页 |
| ·存在问题及影响因素 | 第45-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 5 结论与展望 | 第48-50页 |
| ·结论 | 第48页 |
| ·展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 作者在硕士期间撰写和发表的论文 | 第58页 |