碳化硅电热元件涂层的制备及性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·碳化硅及碳化硅电热元件 | 第8-10页 |
| ·国内外碳化硅材料抗氧化涂层的研究现状 | 第10-19页 |
| ·碳化硅材料的氧化 | 第10-12页 |
| ·抗氧化涂层的基本要求 | 第12-13页 |
| ·抗氧化涂层的制备方法 | 第13-16页 |
| ·抗氧化涂层的体系 | 第16-18页 |
| ·碳化硅电热元件的防氧化涂层 | 第18-19页 |
| ·本文研究的内容及方法 | 第19页 |
| ·技术路线 | 第19-20页 |
| 2 抗氧化涂层体系的优化设计 | 第20-32页 |
| ·涂层体系的设计 | 第20-25页 |
| ·氧扩散系数因素 | 第20-21页 |
| ·热膨胀系数(CET)匹配 | 第21-23页 |
| ·相变因素 | 第23-25页 |
| ·前期的探索 | 第25-31页 |
| ·实验材料 | 第25-26页 |
| ·涂层的制备 | 第26-27页 |
| ·料浆的影响因素及涂层的表面观察 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 涂层的形成机理和组织形貌 | 第32-42页 |
| ·涂层的形成 | 第32-37页 |
| ·组元的作用 | 第32-33页 |
| ·涂层的形成及其工艺的影响 | 第33-37页 |
| ·涂层的形貌分析 | 第37-41页 |
| ·基体与几组涂层体系的表面形貌分析 | 第37-40页 |
| ·涂层与基体的结合 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 涂层的抗氧化性能及其规律 | 第42-56页 |
| ·涂层的氧化机理分析 | 第42-43页 |
| ·涂层抗氧化规律及其影响因素 | 第43-49页 |
| ·原料组成对涂层抗氧化性能的影响 | 第44-46页 |
| ·制备的保温时间对涂层抗氧化性能的影响 | 第46页 |
| ·涂层在不同制备温度的抗氧化效果 | 第46-47页 |
| ·涂层表面封闭对抗氧化效果的影响 | 第47-49页 |
| ·涂层的抗热震性能 | 第49-53页 |
| ·SiC 表面SiO_2 膜的保护与失效 | 第50-51页 |
| ·涂层的抗热震性能 | 第51-53页 |
| ·涂层的失效分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 结论 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62页 |