| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| ·课题研究背景 | 第7页 |
| ·主要工作内容 | 第7-8页 |
| ·论文结构 | 第8-9页 |
| 第二章 设备自动化研究现状 | 第9-25页 |
| ·什么是CIM 以及CIM 的系统结构 | 第9-14页 |
| ·IC 的制造过程简介 | 第9-10页 |
| ·CIM 的系统结构 | 第10-14页 |
| ·EAP Cell Server 与设备自动化程序EAP 的关系 | 第14-15页 |
| ·设备自动化及其实现 | 第15-21页 |
| ·设备自动化通信方式 | 第15页 |
| ·设备自动化通信协议 | 第15-21页 |
| ·EAP 开发工具STATIONworks | 第21-25页 |
| ·EAP 开发工具STATIONworks 简介 | 第21-23页 |
| ·WinSECS 概述 | 第23-25页 |
| 第三章 智能机台监控系统的业务分析 | 第25-31页 |
| ·iEMS Cell Server 的运行平台 | 第25-26页 |
| ·iEMS Server 的运行平台---TUXEDO | 第25页 |
| ·iEMS Cell Sever 的配置文件及其作用 | 第25-26页 |
| ·iEMS Cell Server 的功能及实现 | 第26-27页 |
| ·iEMS Cell Server 的功能 | 第26页 |
| ·iEMS Cell Server 与EAP 的接口(Interface) | 第26-27页 |
| ·iEMS Actions 的实现 | 第27-31页 |
| ·在EAP GUI 显示错误信息（Show Error Message） | 第27页 |
| ·扣留产品（Hold Lot in MES） | 第27-28页 |
| ·扣留机台（Hold EQP in MES） | 第28-29页 |
| ·停止机台运行（Stop EQP） | 第29页 |
| ·发出邮件报警（Send Alarm E-mail） | 第29-30页 |
| ·给CT2 发报警信息（Send Alarm Message to CT2） | 第30-31页 |
| 第四章 iEMS（智能机台监控系统）系统整体架构及关键技术 | 第31-44页 |
| ·iEMS（智能机台监控系统）系统整体架构 | 第31-40页 |
| ·DB System and Structure（数据库系统及其结构） | 第32-36页 |
| ·iEMS Cell Server | 第36-37页 |
| ·IEMS UI | 第37-38页 |
| ·EAP 的运行 | 第38-39页 |
| ·iEMS UI Security Control | 第39-40页 |
| ·iEMS 系统主要功能 | 第40-44页 |
| ·iEMS UI 主要功能 | 第40-43页 |
| ·Real Time Report on WEB | 第43-44页 |
| 第五章 iEMS（智能机台监控系统）对机台参数实时监测的实例 | 第44-64页 |
| ·设备自动化实现过程中涉及的硬件设备介绍 | 第44-46页 |
| ·POD 与Cassette | 第44-45页 |
| ·SMART-TAG | 第45页 |
| ·SMIF | 第45-46页 |
| ·MOXA 与网线 | 第46页 |
| ·AMAT Mirra Mesa 简介 | 第46-51页 |
| ·概述 | 第46-48页 |
| ·Mirra Mesa State | 第48-51页 |
| ·AMAT Mirra Mesa EAP 实现 | 第51-56页 |
| ·AMAT Mirra Mesa 的EAP Scenario 开发 | 第51-54页 |
| ·AMAT Mirra Mesa 的EAP 程序开发 | 第54-56页 |
| ·AMAT Mirra Mesa 的iEMS 功能实现 | 第56-61页 |
| ·收集用户所需监控参数 | 第56-58页 |
| ·程序实现 | 第58-61页 |
| ·iEMS 在AMAT Mirra Mesa 机台上的应用实例 | 第61-64页 |
| ·iEMS UI 在AMAT Mirra Mesa 机台上的应用举例 | 第61-63页 |
| ·报告系统在AMAT Mirra Mesa 机台上的应用举例 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·该项目在天津晶片生产厂的实施过程 | 第64页 |
| ·运行情况 | 第64-65页 |
| ·改进空间 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
