硅片传输机器人轨迹规划的研究与实现
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·硅片传输机器人的发展与研究现状 | 第10-13页 |
| ·硅片传输机器人发展历程 | 第10-11页 |
| ·硅片传输机器人研究现状 | 第11-13页 |
| ·机器人轨迹规划研究现状 | 第13-16页 |
| ·课题来源与论文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 2 硅片传输机器人运动学和动力学分析 | 第18-28页 |
| ·硅片传输机器人结构 | 第18-19页 |
| ·机器人末端径向伸缩运动模型 | 第19-21页 |
| ·机器人运动学分析 | 第21-24页 |
| ·D-H坐标系建立 | 第21-22页 |
| ·运动学方程推导 | 第22-24页 |
| ·机器人动力学分析 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 硅片传输机器人关节空间轨迹优化 | 第28-42页 |
| ·机器人关节空间轨迹规划 | 第28页 |
| ·机器人关节空间B样条轨迹构造 | 第28-32页 |
| ·均匀B样条函数定义 | 第28-29页 |
| ·控制点的求法 | 第29-31页 |
| ·边界条件 | 第31-32页 |
| ·机器人轨迹优化模型 | 第32-33页 |
| ·目标函数 | 第32页 |
| ·设计变量 | 第32页 |
| ·约束条件 | 第32-33页 |
| ·自适应混合遗传算法设计 | 第33-37页 |
| ·遗传算法 | 第33-34页 |
| ·自适应混合遗传算法的设计 | 第34-37页 |
| ·轨迹优化结果 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 基于ADAMS的硅片传输机器人轨迹规划仿真 | 第42-49页 |
| ·ADAMS功能简介 | 第42-43页 |
| ·Solidworks模型建立 | 第43页 |
| ·机器人ADAMS仿真模型建立 | 第43-45页 |
| ·ADAMS环境下轨迹规划仿真分析 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 硅片传输机器人轨迹规划的实现 | 第49-61页 |
| ·硅片传输机器人运动控制系统总体设计 | 第49-50页 |
| ·运动控制系统原理 | 第49页 |
| ·机器人控制系统硬件配置 | 第49-50页 |
| ·伺服系统联接与调试 | 第50-54页 |
| ·伺服系统联接 | 第50-52页 |
| ·基本参数 | 第52页 |
| ·位置闭环参数调整 | 第52-54页 |
| ·控制系统软件设计 | 第54-56页 |
| ·上位机人机界面 | 第54-55页 |
| ·工控机与PMAC卡的通讯 | 第55页 |
| ·运动程序编写 | 第55-56页 |
| ·轨迹规划实现 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
