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对靶磁控溅射法沉积类三明治结构过渡金属纳米薄膜的磁特性和微结构研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-9页
1 绪论第9-18页
   ·纳米磁性薄膜及其过渡金属简介第9-11页
     ·纳米磁性薄膜的概述第9页
     ·过渡金属简介第9-10页
     ·过渡金属薄膜的生长第10-11页
   ·纳米磁性薄膜的发展现状第11-14页
   ·纳米磁性薄膜的基本参数第14-16页
   ·本文选题背景及研究内容第16-18页
     ·本文选题背景第16页
     ·本文研究内容第16-18页
2 制备纳米薄膜的方法及测试原理第18-26页
   ·制备纳米薄膜的方法第18-19页
   ·实验仪器介绍及原理第19-25页
     ·磁控溅射设备第19-20页
     ·振动样品磁强计第20-21页
     ·X射线衍射仪第21-22页
     ·扫描探针显微镜第22-25页
   ·实验步骤第25-26页
3 实验内容第26-46页
   ·Ag层厚度对类三明治结构Ag/Fe/Ag纳米薄膜的影响第26-31页
   ·Ti层厚度对类三明治结构Ti/Fe/Ti纳米薄膜的影响第31-36页
   ·退火温度对类三明治结构纳米薄膜的影响第36-40页
   ·类三明治结构Ag/Fe/Ag纳米薄膜的时效性研究第40-46页
4 结论第46-47页
参考文献第47-56页
致谢第56-57页
攻读学位期间取得的科研成果清单第57页

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