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ZnO及其掺杂薄膜结构与性质研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
目录第8-11页
第一章 绪论第11-27页
   ·引言第11页
   ·纳米材料第11-14页
   ·半导体材料简介第14-15页
   ·ZnO 简介第15-20页
     ·ZnO 的基本性质第15-18页
     ·ZnO 的应用第18-19页
     ·ZnO 掺杂第19-20页
   ·稀土简介第20-25页
     ·稀土材料第20-22页
     ·稀土离子第22-23页
     ·Eu 掺杂 ZnO 薄膜的研究进展第23-25页
   ·本论文研究的主要内容和意义第25-27页
第二章 ZnO 薄膜制备方法及检测技术第27-36页
   ·ZnO 薄膜制备方法第27-32页
     ·有机金属化学气相沉积(MOCVD)第27页
     ·分子束外延(MBE)第27-29页
     ·磁控溅射(MS)技术第29页
     ·溶胶一凝胶(Sol-Gel)技术第29-30页
     ·水热法(Hydrothermalmethod)第30页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第30-32页
   ·常用的薄膜检测技术第32-36页
     ·X 射线衍射(XRD)第32-33页
     ·扫描电子显微(SEM)第33-34页
     ·光致荧光光谱(PL)第34-36页
第三章 ZnO 薄膜结构和发光性质的研究第36-55页
   ·引言第36页
   ·样品制备及测量第36-38页
   ·实验结果与讨论第38-53页
     ·衬底温度对 ZnO 薄膜结构和发光性质的影响第38-44页
       ·样品结构分析第38-40页
       ·样品 PL 谱分析第40-44页
     ·氧流量对 ZnO 薄膜结构和光学性质的影响第44-48页
       ·样品结构分析第44-46页
       ·样品 PL 谱分析第46-48页
     ·同质缓冲层对 ZnO 薄膜的结构和发光性质的影响第48-53页
       ·样品结构分析第48-50页
       ·样品 PL 谱分析第50-53页
   ·本章小节第53-55页
第四章 铕掺杂 ZnO 薄膜结构和光学性质研究第55-68页
   ·引言第55页
   ·样品制备及测量第55-56页
   ·实验结果与讨论第56-67页
     ·氧压对 ZnO:Eu3+,Li+薄膜结构与光学性质的影响第56-62页
       ·样品结构分析第56-60页
       ·样品 PL 谱分析第60-62页
     ·退火气氛对 ZnO:Eu3+,Li+薄膜结构和发光性质研究第62-64页
       ·样品结构分析第62-63页
       ·样品 PL 谱分析第63-64页
     ·退火温度对 ZnO:Eu3+,Li+薄膜结构和发光性质的影响第64-67页
       ·样品结构分析第64-66页
       ·样品 PL 谱分析第66-67页
   ·本章小节第67-68页
第五章 MSM 结构 ZnO/Cu 薄膜欧姆接触特性研究第68-77页
   ·引言第68页
   ·金属-半导体欧姆接触理论第68-71页
   ·样品制备与测量第71-72页
   ·结果与讨论第72-76页
     ·不同接触类型对样品 XRD 图谱的影响第72-73页
     ·退火对 Cu-ZnO:Cu-ZnO 接触样品结构的影响第73-74页
       ·退火对 Cu-ZnO:Cu-ZnO 接触样品表面形貌的影响第73页
       ·退火处理对 Cu-ZnO:Cu-ZnO 接触样品 XRD 图谱的影响第73-74页
     ·样品的 I-V 特性分析第74-76页
       ·不同接触类型对样品 I-V 特性的影响第74-75页
       ·退火对 Cu-ZnO:Cu-ZnO 接触样品 I-V 特性的影响第75-76页
   ·本章小节第76-77页
第六章 总结与展望第77-80页
参考文献第80-88页
攻读博士学位期间发表和完成的学术论文第88-90页
致谢第90页

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